超长高度多弧离子镀膜机

A****2402真空应用设备

1、名称：超长高度多弧离子镀膜机 2、目标：建设核孔膜材料功能化的材料沉积设备，有效制备宽幅兼容TR3及TR6终端核孔膜的辐照宽幅，可实现在平级级核孔膜表面沉积金属、金属合金、部分金属氮化物。 3、数量：1套。 4、技术指标： （1）真空腔体材质：SUS304及以上材质；（2）有效镀膜区域：直径≥800 mm、高度≥1200 mm；（3）极限真空优于3×10-4 Pa；（4）真空规测试范围：1大气压-3×10-5 Pa；（5）抽速：从大气压抽8.0X10-3Pa，≤15分钟(空炉、冷态)；（6）沉积方式：多弧离子镀和中频磁控溅射； （7）沉积材料包括：金属（Al、Ti等）、金属合金、金属氮化物，对于Ti和TiN沉积提供工艺交付；（9）基底温度范围：室温-300 ℃、加热精度：±2 ℃；（10）厚度均匀性≤±5%；（11）含电气控制系统： PLC全自动控制，可运行多种工艺设置和安全保护； 5、质量和服务：（1）投标方需为本项目配备足够的售后服务力量，具有国内本地化的服务团队。（2） 投标方售后服务响应时间：电话响应时间要求2小时内，到场响应时间要求2个工作日内（指从接到报障至到达故障现场的时间）。（3）投标方免费提供技术支持热线电话。（4）投标方免费提供email技术支持，并且在24小时内回复。（5） 投标方提供仪器设备的免费保修期主机一年，配件一年（保修期内免费维修并更换除消耗品以外的零部件，维修人员的路费、食宿等自理）。（6）投标方提供该设备的技术使用说明书及外购配件仪器说明书，并指导在使用该设备时的操作注意事项等。（7） 投标方提供配套软件至少三年的免费升级服务。（8）投标方需将设备运送指定地点，并免费提供设备调试、设备培训及指定工艺培训。 6、时限：合同签订后的4个月内交货。