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广东先导微电子科技有限公司锗烷混氢、磷化氢混氢、乙硼烷混氢、四氟化锗混氢及锗烷、砷化氢建设项目

审批

广东-清远-清城区

发布时间： 2025年09月30日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****1802MA55BHKG5C	李京振
吴先锋	省清**开发区
**市高新区创兴三路16号A车间

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****锗烷混氢、磷化氢混氢、乙硼烷混氢、四氟化锗混氢及锗烷、砷化氢建设项目	****

2021版本:044-基础化学原料制造；农药制造；涂料、油墨、颜料及类似产品制造；合成材料制造；专用化学产品制造；炸药、火工及焰火产品制造	C2613-C2613-无机盐制造
	省清**开发区百嘉工业区27-9号先导厂区南侧厂区（S2地块）的19#高纯试剂车间（特气车间）内
经度:113.04362 纬度: 23.6214	******开发区行政审批局
	2025-01-20
清高审批环表〔2025〕3号	****1802MA55BHKG5C001V
	650
50	****
****1802MA55BHKG5C	市共创**公司
**1802MA**0484	中科**公司
914********894838E	2025-06-10
2025-06-20	2025-07-10
2025-09-02	2025-09-29
	https://www.****.com/shuju/89.html

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

本项目项目属于扩建和技术改造	本项目项目属于扩建和技术改造
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产量均为1.5吨的锗烷混氢生产线、磷化氢混氢生产线、乙硼烷混氢生产线、四氟化锗混氢生产线，并对已建成的锗烷、砷化氢生产线（含充装）进行设备更新改造（增加提纯工艺，不新增产能）	年产量均为1.5吨的锗烷混氢生产线、磷化氢混氢生产线、乙硼烷混氢生产线、四氟化锗混氢生产线，并对已建成的锗烷、砷化氢生产线（含充装）进行设备更新改造（增加提纯工艺，不新增产能）
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

物理混合、分装，不涉及化学反应	物理混合、分装，不涉及化学反应
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、废气：各工序产生的氟化物、乙硼烷、磷化氢、砷及其化合物、锗烷经设备直连管道抽风收集，分别依托现有项目3套高锰酸钾喷淋氧化塔处后，尾气一并通过一根15m高排气筒（编号：DA006）排放。2、废水：喷淋废水经预处理系统（处理工艺：化学处理+沉淀过滤）处理后，**处理站（处理工艺：化学处理+混凝沉淀=1#MVR）进一步处理。3、噪声：采取减振、隔声等降噪措施。4、固废：废分子筛、浓缩液收集放置于危废暂存间，委托有资质的单位处理。	1、废气：①项目锗烷混氢和锗烷粗品提纯生产线产生的锗烷废气接入“年产482吨光电子材料生产线项目”锗烷生产线的高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理，磷化氢混氢生产线产生的磷化氢接入“年产482吨光电子材料生产线项目”磷烷生产线的高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理，乙硼烷混氢、四氟化锗混氢和砷化氢粗品提纯生产线产生的氟化物、乙硼烷、砷及其化合物接入“年产482吨光电子材料生产线项目”砷烷生产线的高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理，锗烷、磷化氢、氟化物、乙硼烷、砷及其化合物经上述3套高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理后，通过高15米的DA006号排气筒排放。 ②本项目了2套高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔（一用一备），处理锗烷混氢、磷化氢混氢、乙硼烷混氢、四氟化锗混氢、锗烷粗品提纯和砷化氢粗品提纯单元产品检测工序产生的氟化物、乙硼烷、磷化氢、砷及其化合物、锗烷污染物，处理后通过15米高DA018排气筒排放。2、废水：喷淋废水经预处理系统（处理工艺：化学处理+沉淀过滤）处理后，****处理站（处理工艺：化学处理+混凝沉淀+1#MVR）进一步处理。3、噪声：采取减振、隔声等降噪措施。4、固废：废分子筛、浓缩液收集放置于危废暂存间，委托有资质的单位处理。
为强化污染治理效果，项目**了2套高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔（一用一备），处理锗烷混氢、磷化氢混氢、乙硼烷混氢、四氟化锗混氢、锗烷粗品提纯和砷化氢粗品提纯单元产品检测工序产生的氟化物、乙硼烷、磷化氢、砷及其化合物、锗烷污染物，处理后通过15米高DA018排气筒排放。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、加强环境风险防范。结合项目环境风险因素，制定并落实有效的环境风险防范措施和应急预案，建立健全环境事故应急体系。项目事故废水依托先导厂区现有事故应急池进行收集。加强污染防治设施的管理和维护，严格控制风险物质的最大暂存量，做好生产区、贮存区等的防渗防漏措施，防止风险物质泄漏，杜绝污染事故的发生。2、本项目新增总量控制指标砷及其化合物0.00021t/a，项目完成后，全厂大气污染物砷及其化合物总量应控制在0.00068吨/年内。	1、加强环境风险防范。结合项目环境风险因素，制定并落实有效的环境风险防范措施和应急预案，建立健全环境事故应急体系。项目事故废水依托先导厂区现有事故应急池进行收集。加强污染防治设施的管理和维护，严格控制风险物质的最大暂存量，做好生产区、贮存区等的防渗防漏措施，防止风险物质泄漏，杜绝污染事故的发生。2、本项目新增砷及其化合物排放总量小于0.00021t/a，项目完成后，全厂大气污染物砷及其化合物排放总量小于0.00068吨/年。
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）砷及其化合物(吨/年)

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0	0	0	/
0.0001	0.0001	0.0007	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	预处理系统	《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表2水污染物特别排放限值中“车间或生产设施废水排放口”限值要求	**了一套预处理系统（处理工艺：化学处理+沉淀过滤），处理废气喷淋塔废水	连续2天，每天4次
2	****处理站	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T19923-2024）表1再生水用作工业用水水质基本控制项目及限值中“间冷开式循环冷却水补充水，锅炉补给水、工艺用水、产品用水”限值要求	预处理系统处理后的出水****处理站（处理工艺：化学处理+混凝沉淀+1#MVR）进一步处理后，回用于先导厂区循环冷却水，不外排	连续2天，每天4次

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔

《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）及修改单表4大气污染物特别排放限值要求

①项目锗烷混氢和锗烷粗品提纯生产线产生的锗烷废气接入“年产482吨光电子材料生产线项目”锗烷生产线的高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理，磷化氢混氢生产线产生的磷化氢接入“年产482吨光电子材料生产线项目”磷烷生产线的高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理，乙硼烷混氢、四氟化锗混氢和砷化氢粗品提纯生产线产生的氟化物、乙硼烷、砷及其化合物接入“年产482吨光电子材料生产线项目”砷烷生产线的高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理，锗烷、磷化氢、氟化物、乙硼烷、砷及其化合物经上述3套高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔处理后，通过高15米的DA006号排气筒排放。②本项目**了2套高锰酸钾喷淋氧化废气处理塔（一用一备），处理锗烷混氢、磷化氢混氢、乙硼烷混氢、四氟化锗混氢、锗烷粗品提纯和砷化氢粗品提纯单元产品检测工序产生的氟化物、乙硼烷、磷化氢、砷及其化合物、锗烷污染物，处理后通过15米高DA018排气筒排放

连续2天，每天3次

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

采取了减振、隔声等噪声防治措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

采取了减振、隔声等噪声防治措施

连续2天，昼间夜间各监测1次

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

废分子筛、浓缩液收集放置于危废暂存间，委托有资质的单位处理。

废分子筛、浓缩液收集放置于危废暂存间，废分子筛委托****处理，废浓缩液由****公司委托**东江****公司处理。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程