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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0300MA5HD4UH32 | 建设单位法人:马卫清 |
| 彭亦 | 建设单位所在行政区划:**省**市**区 |
| **市宝****社区鹏微路8号2栋综合楼101 |
| 润鹏半导体12吋集成电路生产线项目(一期) | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点: | **省**市**区 **市宝****社区鹏微路8号2栋综合楼101 |
| 经度:113.85233 纬度: 22.78879 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2023-05-18 |
| 深环批〔2023〕000007号 | 本工程排污许可证编号:****0300MA5HD4UH32001V |
| 2024-03-01 | 项目实际总投资(万元):****000 |
| 100000 | 运营单位名称:**** |
| ****0300MA5HD4UH32 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**天鉴检测****公司 |
| 914********5920131 | 验收监测单位:**天鉴检测****公司 |
| 914********5920131 | 竣工时间:2024-12-02 |
| 2024-12-02 | 调试结束时间:2025-08-31 |
| 2025-09-03 | 验收报告公开结束时间:2025-09-30 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=509030uzWZ |
| 拟在**市**区燕罗街道建设 | 实际建设情况:在**市宝****社区鹏微路8号2栋综合楼101建设项目 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 主要建设12时集成电路生产线1条,设计生产规模为12英寸芯片4万片/月。 | 实际建设情况:主要建设12时集成电路生产线1条,实际集成电路芯片12 英寸1.3万片/月 |
| 因产能及生产线原因,目前未达到设计生产量 | 是否属于重大变动:|
| 集成电路(integrated circuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构。完整的****基地制造、IC 设计、晶圆制造、芯片封装等工序。其中晶圆制造又称“前工序”,包括薄膜淀积、图形转移、功能实现等工序;芯片封装又称“后封装”,包括芯片切割、表面贴装、芯片互连、塑封成型、金属沉积等工序。 | 实际建设情况:项目把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构。完整的****基地制造、IC 设计、晶圆制造、芯片封装等工序。其中晶圆制造又称“前工序”,包括薄膜淀积、图形转移、功能实现等工序;芯片封装又称“后封装”,包括芯片切割、表面贴装、芯片互连、塑封成型、金属沉积等工序。 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 项目建设运营过程中必须严格落实环境影响报告表提出的各项环保措施。 | 实际建设情况:****处理站设置 6 类生产废水处理系统处理,****处理站处理达标后排至北侧市政污水管网。项目食堂污水经隔油池处理后、与经化粪池处理后的生活污水排至南侧市政污水管网。 湿法刻蚀工段光刻工序的清洗及化学抛光清洗工序、工艺废气经 POU 处理后排放的废气、仓库废气经设备自带 POU 处理后再接入酸性废气处理系统与酸性废气一起采用碱喷淋处理达标后经排气筒排放,共9套废气处理设施;光刻工序中的显影、清洗工序中碱液洗工程采用酸喷淋处理达标后排气筒排放,共3套废气处理设施;光刻工序中的涂胶、前烘、曝光后烘焙、有机洗、坚膜、去胶、清洗洗等过程、仓库废气采用沸石转轮浓缩燃烧处理达标后排气筒排放,共3套废气处理设施;含砷废气处理系统经设备自带POU 处理后再采用干式吸附处理达标后经排气筒排放,共2套废气处理设施;天然气锅炉采用低氮燃烧技术,经 35m高排气筒排放,共1个排气筒;污水处理站废气采用酸碱液喷淋,处理达标后经排气筒排放,共1套废气处理设施;食堂采用静电油烟净化器处理,引至楼顶排放,共4个排气筒;柴油发电机尾气水喷淋降温除尘处理后排放,共10套废气处理设施 |
| (1)4套生产酸性废气处理系统及排放口暂未建设,预计建设时间为2026年,已建设排放口高度由 35 米增高至 49 米。(2)实际建设每2套生产有机废气处理系统共用1个排放口,共设置2+1个生产有机废气排放口。1个生产有机废气排放口暂未建设,预计建设时间为2026年,已建设排放口高度由 35 米增高至 51 米。(3)生产碱性废气排放口高度由 35 米增高至 49 米。含砷废气排放口高度由35米增高至45 米。****处理站废气排放口高度由 25 米增高至34 米。锅炉烟气排放口高度由28 米变化至35 米。(4)新增10个备用发电机排放口。(5)新增供应间化学品无组织逸散情况下,供应间有机废气排放口2个、供应间酸性废气排放口2个 | 是否属于重大变动:|
| 项目生产废水排放量为9622m3/d,生产废水中总铜、氟化物执行**省《电镀水污染物排放标准》(DB44/1597-2015)表2珠三角标准;其他污染物执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)间接排放标准生产废水处理达标后经市政污水管网排入松岗水质净化厂 项目工艺废气执行**市《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019);非甲烷总烃(NMHC)执行**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022);磷酸雾及磷烷执行**市《大气污染物综合排放标准》(DB311933-2015);锅炉氧化物按照30mg/m3执行。 | 实际建设情况:项目生产废水目前排放量为3319m3/d,生产废水中总铜、氟化物达到**省《电镀水污染物排放标准》(DB44/1597-2015)表2珠三角标准;其他污染物达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)间接排放标准生产废水处理达标后经市政污水管网排入松岗水质净化厂 项目工艺废气达到**市《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019);非甲烷总烃(NMHC)达到**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022);磷酸雾及磷烷执行**市《大气污染物综合排放标准》(DB311933-2015);锅炉氧化物按照30mg/m3执行。 |
| 因产能及生产线原因,目前未达到设计生产量,项目生产废水目前排放量为3315m3/d。 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 3315 | 9622 | 0 | 0 | 3315 | 3315 | |
| 0 | 16.486 | 1730.997 | 0 | 0 | 16.486 | 16.486 | |
| 0 | 3.0537 | 156.395 | 0 | 0 | 3.054 | 3.054 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 7.623 | 245.513 | 0 | 0 | 7.623 | 7.623 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 9.2264 | 10.713 | 0 | 0 | 9.226 | 9.226 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 1.8926 | 19.907 | 0 | 0 | 1.893 | 1.893 | / |
| 1 | 含铜废水处理系统、含氟废水处理系统、有机废水处理系统、研磨废水处理系统、含氨废水处理系统、酸碱废水处理系统、CMP 废水回收系统、冷却塔废水回收系统 | 生产废水中总铜、氟化物满足**省《电镀水污染物排放标准》(DB44/1597-2015)表 2 珠三角标准;生产废水中其他污染物为常规污染物达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中间接排放标准。 | 含铜废水处理系统、含氟废水处理系统、有机废水处理系统、研磨废水处理系统、含氨废水处理系统、酸碱废水处理系统、CMP 废水回收系统、冷却塔废水回收系统 | 正常 |
| 1 | 酸性废气处理系统(碱喷淋) | 生产过程产生的颗粒物、硫酸雾、氯化氢、氟化物、氮氧化物、氯气、氨满足**市地方标准《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019)第Ⅱ时段标准限值,非甲烷总烃有组织排放满足《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表 1 挥发性有机物排放限值标准 | 酸性废气处理系统(碱喷淋) | 正常 | |
| 2 | 碱性废气处理系统(酸喷淋) | 生产过程产生的氨满足**市地方标准《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019)第Ⅱ时段标准限值 | 碱性废气处理系统(酸喷淋) | 正常 | |
| 3 | 有机废气处理系统(沸石转轮浓缩燃烧处理) | 生产过程产生的颗粒物、氮氧化物、二氧化硫满足**市地方标准《电子工业大气污染物排放标准》(DB11/1631-2019)第Ⅱ时段标准限值,总挥发性有机物、非甲烷总烃有组织排放满足《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表 1 挥发性有机物排放限值标准;非甲烷总烃有组织排放满足《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367—2022)表 1 挥发性有机物排放限值标准 | 有机废气处理系统(沸石转轮浓缩燃烧处理) | 正常 | |
| 4 | 含砷废气处理系统(干式吸附处理) | 砷及其化合物满足《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)(第二时段)二级标准 | 含砷废气处理系统(干式吸附处理) | 正常 | |
| 5 | 锅炉废气处理系统(低氮燃烧技术) | 《锅炉大气污染物排放标准》(DB44/765-2019)表 2 标准限值 | 锅炉废气处理系统(低氮燃烧技术) | 正常 | |
| 6 | 废水站臭气处理系统(酸碱液喷淋) | 硫化氢、氨、臭气浓度满足**地标《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018) | 废水站臭气处理系统(酸碱液喷淋) | 正常 | |
| 7 | 食堂油烟处理系统(静电油烟净化器处理) | 《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB 18483-2001) | 食堂油烟处理系统(静电油烟净化器处理) | 正常 | |
| 8 | 发电机废气处理系统(水喷淋降温除尘处理) | 备用发电机废气(二氧化硫、氮氧化物、颗粒物、烟气黑度)达到**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)中第二时段二级标准 | 发电机废气处理系统(水喷淋降温除尘处理) | 正常 |
| 1 | 基础减振、建筑隔音 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB 12348-2008)表1 排放限值3类,北侧达到排放限值4类 | 基础减振、建筑隔音 | 正常 |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 批复VOCs 排放量为 19.907t/a,考虑两倍削减量替代,VOCs 两倍削减替代量为39.814t/a | 验收阶段落实情况:根据废气检测结果核算,本项目VOCs 总排放量为1.****761t/a,未超出原设定VOCs排放量 19.907t/a |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |