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北京怀柔实验室SOC2025年第二批机电设备采购项目评标结果公示公告

结果-候选人公示

北京 -北京

发布时间： 2025年10月13日

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实验室机电设备采购项目公告

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****SOC 2025年第二批机电设备采购项目评标结果公示公告

发布时间：2025-10-13

项目名称：****SOC 2025年第二批机电设备采购项目
招标项目编号：****
招标范围：磁控溅射仪作为核心工艺装备，将支撑超顺磁TMR材料的关键功能层制备与膜堆结构调控，需具备单溅射腔多靶位高精度切换能力（ 12个靶位）、优异的膜厚均匀性（ 1%，1sigma）、超高薄膜沉积精度（0.01nm），优于10-8 Torr的极限真空度、稳定的射频与直流溅射源、可控的成分调配系统以及低粒子污染的沉积环境，以实现膜层结构的高一致性与批次重复性，为高精度传感芯片的大规模开发和薄膜工艺优化提供坚实支撑。
招标机构：****
招标人：****
开标时间：2025-10-11 09:30
公示开始时间：2025-10-13 11:48
评标公示截止时间：2025-10-16 17:00
中标候选人名单：

候选人排名投标商名称制造商制造商国别及地区

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SINGULUS TECHNOLOGIES AG

德国