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双温区CVD
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2(套)
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**科晶
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OTF-1200X-II-Φ100-4CLV-PE
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供气系统:﹒四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%)电压:208-240V, AC, 50/60Hz; ◆ 气体进出口配件:6.35mm的聚四氟管或不锈钢管; ◆ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出; ◆ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置 注:接入供气系统的气源需搭配减压阀,将气压降至2mpa以下射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;滑轨式可快速加热和快速冷却;双温区,管径Φ100mm,加热区440mm。可在温度范围较大的条件下制备材料,如碳、ZnO纳米管或纳米线及单层石墨烯等。加热炉参数:﹒电源:电压要求:220V ﹒功率:3KW ﹒最高温度:1200℃(小于0.5小时) ﹒连续工作温度:1100℃ ﹒加热区长度:440mm,恒温区长度:160mm(+/-3℃)(放
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