半自动探针台采购项目延期公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

森**、烽悦科技、莫兰特

型号

CP200、FY-8、MLT-S-8

技术规格及参数

1台8英寸半自动探针台，支持手动上片，自动测试。
X-Y轴定位系统：行程250mm*350mm，X-Y轴移动分辨率：0.1μm，定位精度≤±2um、重复定位精度：≤1um，X-Y移动速度：≥70mm/s。
Z轴定位系统：行程20mm，Z轴移动分辨率：0.1um，定位精≤±2um、重复定位精度：≤1um，Z轴移动速度：≥20mm/s。
T旋转定位系统：Theta角度行程：≥15°，Theta角度分辨率：0.0001°
空气弹簧减震系统，确保画面不抖动。
自动扫描对准功能CCD1个。
电动显微镜系统1套，XYZ轴行程：50*50*110mm，0.58-7.5连续变倍，43.5FPS视频帧率，兼容Top-Hit，达到光完全屏蔽，兼高压测试，标配5X物镜。
机台保留R232/485/TCP/IP/GPIB通讯接口，支持二次编程。
测试软件1套，支持自动测量Die size及生成map图，可测试圆片，测试范围可选，任意wafer map编辑，具备接触缓冲功能，针痕稳定，自动MARK点，(0,0)点定位功能，一键可完成测试。
真空泵1台：真空度：-400mm/Hg，可24小时运转，为载物台提供真空吸附力
所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。

质保期

3年质保

售后要求

卖方安排专业工程师上门安装调试，以及设备培训，直至买方能独立使用为止，设备质保期3年，期间提供5*8小时服务热线，2小时内对买方需求作出响应，必要时可当日到达现场，若买方需对设备进行升级卖方应全力配合，质保期过后卖方可提供质量可靠,价格优惠的原厂配件或耗材。