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超高空间分辨耦合激元表征设备
招标详情
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***********公司企业信息
****2025年10至12月政府采购意向-超高空间分辨耦合激元表征设备 详细情况
| 超高空间分辨耦合激元表征设备 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 超高空间分辨耦合激元表征设备 |
| 预算金额： | 326.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他仪器仪表
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| 采购需求概况 ： |
1. 包含光子-电子耦合模式，该模式下成像分辨率2nm； 2. 电子可通过专用束闸快速开关，响应时间≤50ns； 3. 包含闭环光子干涉模块，配套双频激光干涉仪分辨率≤0.5nm； 4. 样品台配套恒温水冷系统，温度稳定性优于±0.1℃； 5. 样品台采用高精度电机加纳米压电陶瓷补偿的全闭环样品台，高精度电机保证样品台的快速移动，纳米压电陶瓷补偿保证样品台位移精度，拼接精度：≤±50 nm （mean+2σ），套刻精度：≤±50 nm （mean+2σ）； 6. 包含图形发生模块，扫描频率：≥50MHz，驻留时间：≤20ns，同时配套写场畸变校正：包含激光干涉仪标定的4点校正、9点校正、标样阵列点软件自动写场畸变校正；
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| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-11-28
2025-11-13
2025-11-05
2025-10-15
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