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高真空蒸发镀膜系统（JLU-KC25083）采购公告

公告-招标公告

吉林 -长春

发布时间： 2025年10月16日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

真空蒸发镀采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空蒸发镀膜系统	****
2025-10-16 13:20:04	2025-10-21 14:00:00
****	货到验收合格办理相关手续后100%付款。

	国内合同签订后60个日历日内
￥650000.00




****
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空蒸发镀膜系统

台

其他试验仪器及装置

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

**光拓

GT400-S8

￥ 325000.00

1.1底盘结构： 1.1.1 *采用方管焊接式框架，白色喷漆处理，防止生锈； 1.1.2 底部带有轮子，可推动，并带有可调节高度的支脚。 1.1.3 带有机械旋转手臂，有多角度调节操作界面。 1.1.4 电气控制集成到底盘上，与真空腔体一体式。 1.2基片架结构 1.2.1 可以固定1个≥135mm x 135 mm的基片托盘。 1.2.2容纳≥49片15mm*15mm基片，采用嵌入式结构。 1.2.3电机驱动实现连续旋转，最大转速可达60转/分钟，通过磁流体与基片托盘连接。 1.2.4配有二个挡板，气缸驱动，二个挡板组合使用，可遮挡范围基片托盘 1.2.5掩膜与基片对位精度可以达到+/-50μm。 1.3蒸发源： 1.3.1 ≥6组蒸发源，用于材料蒸发，金属与有机源必须通用。源与基片的垂直距离≥300mm。 1.3.2 每个蒸发源电极均采用水冷式结构，以便可以长时间蒸镀。 1.3.2 *每组蒸发源的上方同时配有防护板来防止蒸发源的交叉污染，防护板通过气缸驱动。 1.3.4源与源之间装有隔板，并避免源与源之间材料相互污染。 1.3.5 1台可编程直流稳压蒸发电源，功率≥2.4KW，精度0.1A，有电流模式和电压模式，用于蒸发材料。配合膜厚仪，能够实现自动蒸镀。 1.4自动化控制软件 1.4.1采用工控机模式，方便后期维护更新。 1.4.2控制软件的真空系统分为自动和手动模式，可以随时切换。 1.4.3 *可一键自动蒸镀工艺器件。 1.5膜厚控制系统 1.5.1 2个标准卡扣晶振传感器，均为水冷式，安放于基底附近。 1.5.2 晶振探头，膜厚仪与蒸发电源之间可实现闭环控制，用于控制电源功能及速率稳定性。 1.5.3 膜厚速率显示精度±0.01A/S。 1.5.4 *膜厚均匀性，重复性优于3%。 1.6 真空室 1.6.1 真空室由不锈钢制成，内部电解抛光，内部尺寸≥400mm*400mm*560mm，装有基础结构和挡板的固定装置，以及蒸发电极、真空泵、样品盘等装置。 1.6.2 真空腔体配备两个可以完全打开的门，前门为移门，通过与直线导轨，滑块等装置连接，可使前门左右开启与关闭；后门旋转门，通过旋转轴实现后门的开关，开启后腔体内部完全暴露在空气中，主要的目的为维护检修，并配一个长方形观察窗，配合腔体外部照明灯，方便观察腔体内部状况。 1.6.3 腔体极限真空≤3*10-5pa，从常压到5*10-4pa≤15min（充氮气保护） 1.6.4 带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，打开腔室,进行样品及材料的更换。 1.6.5 腔体内表面预留安装金属防污挡板接口,后期可安装金属防污挡板 1.7 真空系统 1.7.1 前级泵的抽速≥16m3/h。 1.7.2 主泵采用抽速≥700L/s的分子泵。 1.7.3 主泵和腔室之间安装有气动插板阀，通径≥150mm。 1.7.4 自动抽气控制，带安全互锁功能。 1.7.5 配有前级管路等相应的硬件。 1.7.6 真空室配真空计，测量范围为大气至10-7mbar。

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