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| 自动磁控离子溅射仪 | 1.0/台 | 65000.0 | 禾早 | GMC-1000 | 1 *溅射源:采用低压平面磁控溅射,可溅射多种贵金属Au、Pt、Pd、Ag 等 2 *溅射电源:恒流磁控DC溅射电源300-600V,Max50mA控制精度可达1mA 3 控制方式:采用触摸程序控制,具备全自动控制,一键操作,系统采用ARM 架构,一体化集成界面,具备中英文操作界面 4真空腔体:130×100mm 5样品台:样品台φ65mm可升降,可同时放置12个标准样品台。 6*数据处理:可用实时曲线显示溅射电流、溅射电压、靶材使用时间,真空系统使用状态等系统参数。 7真空系统:极限真空<1Pa,采用旋叶真空泵。 8 *真空测量:全量程皮拉尼数字真空计 9 溅射参数:控制溅射时间≤900s,控制精度1mA,采用恒压控制,工作真空2-8Pa 10 具备电流保护和真空保护功能,在电流过大、真空度较差时保证设备安全 | 质保期:__3____年,产品的质量应符合国家相关质量标准。 |