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安意法半导体8英寸碳化硅外延、芯片项目（一期一阶段））

审批

重庆

发布时间： 2025年10月16日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0107MACUFH0X4U	张洁
任权	**市高新区
**市高新区西永街道西永组团N分区

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

安意法半导体8英寸碳化硅外延、芯片项目（一期一阶段））	****

2021版本:(36--080)-电子器件制造	C3973-C3973-集成电路制造
	重****开发区西永街道西永组团N分区
经度:106.37686 纬度: 29.57907	****环境局
	2024-02-05
渝（高新）环准〔2024〕6号	****0107MACUFH0X4U001V
2024-02-07	600000
30000	/
/	****公司
915********944721G	******公司
915********075002T	2025-05-01

2025-09-12	2025-10-16
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=50912V6YpC

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

各期年产能均为26万片车规级MOSFET芯片，全厂建成后年产车规级MOSFET芯片52万片。	目前一期一阶段已建成生产线年产能为2万片车规级MOSFET芯片。
未超出一期设计规模

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

基础工艺为碳化硅片清洗、炉管、PVD、CVD、光刻、刻蚀、去胶、离子注入与激活、减薄、测试等	基础工艺为碳化硅片清洗、炉管、PVD、CVD、光刻、刻蚀、去胶、离子注入与激活、减薄、测试等
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

废气：CVD、光刻、干法刻蚀、EPI等工序产生的氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物、氨、二氧化硫、磷化氢、颗粒物等工艺尾气由工艺设备自带的“POU净化装置”处理后进入酸性废气处理系统，POU净化装置燃烧废气引入对应酸性废气处理系统；清洗、湿法刻蚀等工序产生的氟化物、磷酸雾、氯化氢、硫酸雾、硝酸雾（以氮氧化物计）等酸性废气由32+4套（32用+4备）碱液喷淋洗涤塔处置达标后引至35m高排气筒排放（排放口编号：DA001~DA032）；清洗、湿法蚀刻、光刻显影工序产生的氨（碱性废气）由2+2套（2用+2备）酸液喷淋洗涤塔处理达标后引至35m高排气筒排放（排放口编号：DA033~DA034）；光刻、清洗产生的有机废气由6套沸石转轮浓缩燃烧系统（备2套活性炭应急箱）处理达标后引至35m高排气筒排放（排放口编号：DA035~DA036），燃烧废气引入对应的有机废气排气筒排放；污水处理站废气由1套酸液+碱液喷淋系统处理后引至15m高排气筒排放（排放口编号：DA037）；锅炉采用低氮燃烧技术，废气引至35m高排气筒排放（排放口编号：DA038）；食堂设油烟经净化器处理后引至屋顶排放（排放口编号：DA039）。项目锅炉废气中二氧化硫、氮氧化物、颗粒物和烟气黑度执行《锅炉大气污染物排放标准》（DB50/658-2016）及修改单相关要求，污水处理站废气中硫化氢、氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993），食堂油烟执行《餐饮业大气污染物排放标准》（DB50/859-2018）相关要求，生产废气中二氧化硫执行《大气污染物综合排放标准》（DB50/418-2016），其余颗粒物、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氨、异丙醇、非甲烷总烃、磷化氢、氯气、氮氧化物等因子参照《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）执行。废水：**处理站设置含氟废水、含氨废水、研磨废水、有机废水、金属沉积废水以及酸碱废水等6类废水处理系统，生产废水经处理达标后排至市政污水管网。其中清洗、光刻、湿法蚀刻产生的含氟废水经混凝沉淀处理后进入有机废水处理系统；清洗、湿法蚀刻产生的含氨废水经两级吹脱+一级吸收处理后进入有机废水处理系统；光刻、湿法蚀刻、去胶产生的有机废水采用缺氧+好氧+MBR处理后进入酸碱废水处理系统；背面研磨废水经混凝沉淀处理后进入酸碱废水处理系统；金属沉积产生的含镍废水经化学沉淀+离子交换处理达标后排入酸碱废水处理系统，含金、含钯废水经离子交换处理达标后排污酸碱废水处理系统；清洗、光刻、湿法蚀刻、金属沉积产生的酸碱废水与汇入的上述其他废水一起经酸碱中和处理达标后汇入生产区废水排放口排入市政污水管网（排放口编号：DW001）；金属沉积产生的含铅、镍废水经化学沉淀+离子交换+蒸发浓缩后回用于纯水备制系统，通过镍钯金制程全部回用，不排放。生活区食堂废水经隔油池处理后汇入生活污水处理达标后排入市政污水管网（排放口编号：DW002），生产区的生活污水经处理达标后排入市政污水管网（排放口编号：DW001）。项目生产废水各污染因子以及单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放标准、《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，生活污水各污染因子执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，污水经市政污水处理厂，最终达《处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级A标准及《梁处理厂主要水污染物排放标准》（DB50/963-2020）重点控制区域标准后排入梁滩河。噪声：优先采用低噪声设备，各类噪声设备采取减振、隔声、降噪和合理总平布局等措施，达到控制噪声目的。通过采取上述措施，项目厂界噪声应满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中厂界3类排放标准要求。固废：一般工业固废包括研磨污泥、废晶圆片、废靶材、废研磨垫、废包装材料、废分子筛等、硫酸铵废液等，收集暂存于一般固废仓库，定期由交厂家、物资回收单位处置或定处理场处置；一般固废暂存应采取“防渗漏、防雨淋、防扬尘”等措施。危险废物包含硝酸废液、硫酸废液、氢氟酸废液、BOE废液、废稀释剂及光刻胶、废显影液、酸性废液、磷酸废液、废异丙醇、废催化剂、废油及含油废物、废去胶光阻液、废清洗剂、废活化液、废镍沉积液、废金沉积液、废钯沉积液、含镍污泥、废活性炭、废离子交换树脂、废滤芯、废渗透膜、废液及高浓度含盐晶浆（含铅镍）、沾染物、废化学品容器、废日光灯、酸碱废水系统污泥等，应分类、分区储存于危废暂存间，并按规定交有危险废物处理资质的单位处置，危险废物暂存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，转移危险废物应按照《危险废物转移管理办法》（生态环境部部交通运输部部令第23号）要求执行。生活垃圾应定期交环卫部门处置。地下水和土壤：开展分区防渗、源头控制、定期监测。废水处理区、危废暂存间、原辅料仓库液态化学品区、生产车间涉及废水排放设备设施所在区域等纳入重点防渗区管理，一般固废仓库、生产车间其他区域纳入一般防渗区管理，严格按照分区要求落实防渗措施，每年开展一次地下水和土壤监测。	废气：CVD、光刻、干法刻蚀、EPI等工序产生的氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物、氨、二氧化硫、磷化氢、颗粒物等工艺尾气由工艺设备自带的“POU净化装置”处理后进入酸性废气处理系统，POU净化装置燃烧废气引入对应酸性废气处理系统；酸性废气处理系统目前建设了5套（实际投入运行的为2套）碱液喷淋洗涤塔处置达标后引至35m高排气筒排放；清洗、湿法蚀刻、光刻显影工序产生的氨（碱性废气）建设了1+1套（1用+1备）酸液喷淋洗涤塔处理达标后引至35m高排气筒排放；光刻、清洗产生的有机废气建设了2套沸石转轮浓缩燃烧系统（备1套活性炭应急箱）处理达标后引至35m高排气筒排放；污水处理站废气建设了1套酸液+碱液喷淋系统处理后引至15m高排气筒排放；锅炉采用低氮燃烧技术，废气引至35m高排气筒排放；食堂目前暂未投入使用，食堂油烟不在本次验收范围。项目锅炉废气中二氧化硫、氮氧化物、颗粒物和烟气黑度执行《锅炉大气污染物排放标准》（DB50/658-2016）及修改单相关要求，污水处理站废气中硫化氢、氨、臭气浓度执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-1993），生产废气中二氧化硫执行《大气污染物综合排放标准》（DB50/418-2016），其余颗粒物、氯化氢、硫酸雾、氟化物、氨、异丙醇、非甲烷总烃、磷化氢、氯气、氮氧化物等因子参照《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）执行。废水：**处理站设置含氟废水、含氨废水、研磨废水、有机废水、金属沉积废水以及酸碱废水等6类废水处理系统，生产废水经处理达标后排至市政污水管网。其中清洗、光刻、湿法蚀刻产生的含氟废水经混凝沉淀处理后进入有机废水处理系统；清洗、湿法蚀刻产生的含氨废水经两级吹脱+一级吸收处理后进入有机废水处理系统；光刻、湿法蚀刻、去胶产生的有机废水采用缺氧+好氧+MBR处理后进入酸碱废水处理系统；背面研磨废水经混凝沉淀处理后进入酸碱废水处理系统；金属沉积生产线未建设，相应重金属处理系统未建设，不在本次验收范围；清洗、光刻、湿法蚀刻、金属沉积产生的酸碱废水与汇入的上述其他废水一起经酸碱中和处理达标后汇入生产区废水排放口排入市政污水管网（排放口编号：DW001）。生活区食堂废水经隔油池处理后汇入生活污水处理达标后排入市政污水管网（排放口编号：DW002），生产区的生活污水经处理达标后排入市政污水管网（排放口编号：DW001）。项目生产废水各污染因子以及单位产品基准排水量执行《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放标准、《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，生活污水各污染因子执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准，污水经市政污水处理厂，最终达《处理厂污染物排放标准》（GB18918-2002）中一级A标准及《梁处理厂主要水污染物排放标准》（DB50/963-2020）重点控制区域标准后排入梁滩河。噪声：优先采用低噪声设备，各类噪声设备采取减振、隔声、降噪和合理总平布局等措施，达到控制噪声目的。通过采取上述措施，项目厂界噪声应满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中厂界3类排放标准要求。固废：一般工业固废包括研磨污泥、废晶圆片、废靶材、废研磨垫、废包装材料、废分子筛等、硫酸铵废液等，收集暂存于一般固废仓库，定期由交厂家、物资回收单位处置或定处理场处置；一般固废暂存应采取“防渗漏、防雨淋、防扬尘”等措施。危险废物包含硝酸废液、硫酸废液、氢氟酸废液、BOE废液、废稀释剂及光刻胶、废显影液、酸性废液、磷酸废液、废异丙醇、废催化剂、废油及含油废物、废去胶光阻液、废清洗剂、废活化液、废活性炭、废离子交换树脂、废滤芯、废渗透膜、沾染物、废化学品容器、废日光灯、酸碱废水系统污泥等，应分类、分区储存于危废暂存间，并按规定交有危险废物处理资质的单位处置，危险废物暂存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，转移危险废物应按照《危险废物转移管理办法》（生态环境部部交通运输部部令第23号）要求执行。生活垃圾应定期交环卫部门处置。地下水和土壤：开展分区防渗、源头控制、定期监测。废水处理区、危废暂存间、原辅料仓库液态化学品区、生产车间涉及废水排放设备设施所在区域等纳入重点防渗区管理，一般固废仓库、生产车间其他区域纳入一般防渗区管理，严格按照分区要求落实防渗措施，每年开展一次地下水和土壤监测。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

风险防范措施：1、设置有毒有害气体在线监控系统，特气间内钢瓶置于不同的密闭特气柜中，特气柜和供气管道重要部位设置气体泄漏监测装置、抽风装置等，气体泄漏后自动切断钢瓶供气阀门，启动抽风装置将气体引入对应的废气处理系统（酸性气体引入酸性废气处理设施、氨气引入碱性废气处理设施）。 2、厂区设置事故水池2座和初期雨水池1座，总容积不小于2197.0m3，并配备雨污切换阀。 3、化学品仓库、特气供应间易燃易爆化学品防爆措施。特气供应间可燃、有毒、有害气体的钢瓶柜、多管阀门箱设有气体泄漏报警、连锁控制系统。设置有毒有害气体在线监控系统及截止阀。 4、化学品槽车转运区设置雨水截流阀，事故期间消防废水收集泵抽提进入厂区事故应急池。厂区危险品库和化学品供应间内地沟与事故应急池连通，事故期间消防废水收集通过重力流方式进入事故应急池。 5 、编制事故应急救援预案，从组织机构、救援保障、报警通讯、应急监测及救护保障、应急处理措施、事故原因调查分析等方面制定严格的制度，建立二级响应应急联动体系；公司与当地联合演练每年至少一次，公司级演练每半年至少一次。	风险防范措施：1、设置有毒有害气体在线监控系统，特气间内钢瓶置于不同的密闭特气柜中，特气柜和供气管道重要部位设置气体泄漏监测装置、抽风装置等，气体泄漏后自动切断钢瓶供气阀门，启动抽风装置将气体引入对应的废气处理系统（酸性气体引入酸性废气处理设施、氨气引入碱性废气处理设施）。 2、厂区雨水排放口前均设置有下沉式闸阀井，并配备雨污切换阀及提升泵。厂区设置有4处消防事故池，总容积为293m3****中心北侧120m3，芯片厂房西南侧50m3，芯片厂房北侧51m3，动力站西侧72m3），雨水排放口可自流进入消防事故池。厂区设置有一处消防事故中转池，容积为35m3，芯片厂房、化学品库房危废库房等区域设置的地漏收集系统可自流进入该中转池中。污水处理站设置有两座事故池，容积分别为924m3、1370m3，污水处理站外北侧设置有一座应急事故池，容积为1500m3。事故状态下，事故废水自流进入消防事故池后，再通过提升泵泵入事故水池中。 3、化学品仓库、特气供应间易燃易爆化学品防爆措施。特气供应间可燃、有毒、有害气体的钢瓶柜、多管阀门箱设有气体泄漏报警、连锁控制系统。设置有毒有害气体在线监控系统及截止阀。 4、化学品槽车转运区设置雨水截流阀，事故期间消防废水收集泵抽提进入厂区事故应急池。厂区危险品库和化学品供应间内地沟与事故应急池连通，事故期间消防废水收集通过重力流方式进入事故应急池。 5、编制事故应急救援预案，从组织机构、救援保障、报警通讯、应急监测及救护保障、应急处理措施、事故原因调查分析等方面制定严格的制度，建立二级响应应急联动体系；公司与当地联合演练每年至少一次，公司级演练每半年至少一次。
原环评要求厂区设置事故水池2座和初期雨水池1座，总容积不小于2197.0m3，并配备雨污切换阀。实际厂区设置事故水池3座，未单独建设初期雨水池，总容积3794m3，并配备雨污切换阀，但实际建设的事故水池均为地面式，事故废水不能自流进入事故水池，因此，厂区配套建设了4处消防事故池，总容积为293m3****中心北侧120m3，芯片厂房西南侧50m3，芯片厂房北侧51m3，动力站西侧72m3），雨水排放口可自流进入消防事故池。厂区设置有一处消防事故中转池，容积为35m3，芯片厂房、化学品库房危废库房等区域设置的地漏收集系统可自流进入该中转池中。事故状态下，事故废水自流进入消防事故池后，再通过提升泵泵入事故水池中，同时，企业配套设置有移动式燃油水泵，消防事故池水泵无法正常运行时，可采用移动式燃油水泵及时将事故废水泵入事故水池中。因此，该变化不会导致环境风险防范能力弱化或降低。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

300000	****220	300000	300000
8.999	47.782	8.999	8.999
0.45	1.97	0.45	0.45
0	0	0	0
0	0	0	0
0	0	0	0	/
3.838	12.0295	3.838	3.838	/
3.838	94.9895	3.838	3.838	/
4.019	21.6995	4.019	4.019	/
0.137	70.806	0.137	0.137	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	****处理站、化粪池	《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放标准、《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准	****处理站、化粪池	生产区废水中氨氮、总氮、总磷、阴离子表面活性剂、氟化物、硫化物、总有机碳监测结果满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）间接排放标准限值要求；其他监测项目监测结果满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准限值要求。
2	生活区化粪池	《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准	生活区化粪池（120m3/d）	生活区废水中氨氮监测结果满足《污水排入城市下水道水质标准》（GB/T31962-2015）B级标准限值要求；其他监测项目监测结果满足《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中三级标准限值要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	酸性废气处理设施	《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）	本项目工艺废气经POU预处理后与酸性废气一起再经设置于生产厂房楼顶的碱液喷淋洗涤塔处理达标后经35m高排气筒排放。目前建设有5套碱液喷淋洗涤塔配套5根排气筒，实际投入运行的仅两套。	酸性废气中氟化物、氯化氢、氯气、氮氧化物、氨、二氧化硫、硫酸雾、低浓度颗粒物、磷酸雾监测结果满足**省地标《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）限值要求
2	碱性废气处理设施	《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）	本项目碱性废气经设置于生产厂房楼顶的酸液喷淋洗涤塔处理达标后经35m高排气筒排放。项目建设有两套酸液喷淋洗涤塔配套2根排气筒，一用一备。	碱性废气中氨监测结果满足**省地标《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）限值要求
3	有机废气处理设施	《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）	本项目有机废气经设置于生产厂房楼顶的沸石转轮浓缩燃烧系统处理达标后35m高排气筒排放。项目建设有2套沸石转轮浓缩燃烧系统+1套活性炭应急箱，设置35m高排气筒1根。	有机废气中氮氧化物、二氧化硫、低浓度颗粒物、非甲烷总烃、异丙醇监测结果满足**省地标《半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）限值要求
4	污水处理站废气处理设施	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）	污水****处理站楼顶设置的1套酸喷淋+碱喷淋处理达标后经1根15m高排气筒排放。	污水处理站废气中氨、硫化氢、臭气监测结果满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）限值要求

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

基础减震、隔声消声措施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

基础减震、隔声消声措施

验收监测期间，项目厂界噪声均能满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

开展分区防渗、源头控制、定期监测。废水处理区、危废暂存间、原辅料仓库液态化学品区、生产车间涉及废水排放设备设施所在区域等纳入重点防渗区管理，一般固废仓库、生产车间其他区域纳入一般防渗区管理，严格按照分区要求落实防渗措施，每年开展一次地下水和土壤监测。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

一般工业固废包括研磨污泥、废晶圆片、废靶材、废研磨垫、废包装材料、废分子筛等、硫酸铵废液等，收集暂存于一般固废仓库，定期由交厂家、物资回收单位处置或定****处理场处置；一般固废暂存应采取“防渗漏、防雨淋、防扬尘”等措施。危险废物包含硝酸废液、硫酸废液、氢氟酸废液、BOE废液、废稀释剂及光刻胶、废显影液、酸性废液、磷酸废液、废异丙醇、废催化剂、废油及含油废物、废去胶光阻液、废清洗剂、废活化液、废镍沉积液、废金沉积液、废钯沉积液、含镍污泥、废活性炭、废离子交换树脂、废滤芯、废渗透膜、废液及高浓度含盐晶浆（含铅镍）、沾染物、废化学品容器、废日光灯、酸碱废水系统污泥等，应分类、分区储存于危废暂存间，并按规定交有危险废物处理资质的单位处置，危险废物暂存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，转移危险废物应按照《危险废物转移管理办法》（生态环境部 **部交通运输部部令第23号）要求执行。生活垃圾应定期交环卫部门处置。

一般工业固废包括研磨污泥、废晶圆片、废靶材、废研磨垫、废包装材料、废分子筛等、硫酸铵废液等，收集暂存于一般固废仓库，定期由交厂家、物资回收单位处置或定****处理场处置；一般固废暂存应采取“防渗漏、防雨淋、防扬尘”等措施。危险废物包含硝酸废液、硫酸废液、氢氟酸废液、BOE废液、废稀释剂及光刻胶、废显影液、酸性废液、磷酸废液、废异丙醇、废催化剂、废油及含油废物、废去胶光阻液、废清洗剂、废活化液、废活性炭、废离子交换树脂、废滤芯、废渗透膜、沾染物、废化学品容器、废日光灯、酸碱废水系统污泥等，应分类、分区储存于危废暂存间，并按规定交有危险废物处理资质的单位处置，危险废物暂存应符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求，转移危险废物应按照《危险废物转移管理办法》（生态环境部 **部交通运输部部令第23号）要求执行。生活垃圾应定期交环卫部门处置。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

1、设置有毒有害气体在线监控系统，特气间内钢瓶置于不同的密闭特气柜中，特气柜和供气管道重要部位设置气体泄漏监测装置、抽风装置等，气体泄漏后自动切断钢瓶供气阀门，启动抽风装置将气体引入对应的废气处理系统（酸性气体引入酸性废气处理设施、氨气引入碱性废气处理设施）。 2、厂区设置事故水池2座和初期雨水池1座，总容积不小于2197.0m3，并配备雨污切换阀。 3、化学品仓库、特气供应间易燃易爆化学品防爆措施。特气供应间可燃、有毒、有害气体的钢瓶柜、多管阀门箱设有气体泄漏报警、连锁控制系统。设置有毒有害气体在线监控系统及截止阀。 4、化学品槽车转运区设置雨水截流阀，事故期间消防废水收集泵抽提进入厂区事故应急池。厂区危险品库和化学品供应间内地沟与事故应急池连通，事故期间消防废水收集通过重力流方式进入事故应急池。 5 、编制事故应急救援预案，从组织机构、救援保障、报警通讯、应急监测及救护保障、应急处理措施、事故原因调查分析等方面制定严格的制度，建立二级响应应急联动体系；公司与当地联合演练每年至少一次，公司级演练每半年至少一次。

1、设置有毒有害气体在线监控系统，特气间内钢瓶置于不同的密闭特气柜中，特气柜和供气管道重要部位设置气体泄漏监测装置、抽风装置等，气体泄漏后自动切断钢瓶供气阀门，启动抽风装置将气体引入对应的废气处理系统（酸性气体引入酸性废气处理设施、氨气引入碱性废气处理设施）。 2、厂区雨水排放口前均设置有下沉式闸阀井，并配备雨污切换阀及提升泵。厂区设置有4处消防事故池，总容积为293m3****中心北侧120m3，芯片厂房西南侧50m3，芯片厂房北侧51m3，动力站西侧72m3），雨水排放口可自流进入消防事故池。厂区设置有一处消防事故中转池，容积为35m3，芯片厂房、化学品库房危废库房等区域设置的地漏收集系统可自流进入该中转池中。污水处理站设置有两座事故池，容积分别为924m3、1370m3，污水处理站外北侧设置有一座应急事故池，容积为1500m3。事故状态下，事故废水自流进入消防事故池后，再通过提升泵泵入事故水池中。 3、化学品仓库、特气供应间易燃易爆化学品防爆措施。特气供应间可燃、有毒、有害气体的钢瓶柜、多管阀门箱设有气体泄漏报警、连锁控制系统。设置有毒有害气体在线监控系统及截止阀。 4、化学品槽车转运区设置雨水截流阀，事故期间消防废水收集泵抽提进入厂区事故应急池。厂区危险品库和化学品供应间内地沟与事故应急池连通，事故期间消防废水收集通过重力流方式进入事故应急池。 5、编制事故应急救援预案，从组织机构、救援保障、报警通讯、应急监测及救护保障、应急处理措施、事故原因调查分析等方面制定严格的制度，建立二级响应应急联动体系；公司与当地联合演练每年至少一次，公司级演练每半年至少一次。

5、环境保护对策措施落实情况

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