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无掩模紫外光刻机
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***********公司企业信息
****2025年12月政府采购意向-无掩模紫外光刻机 详细情况
| 无掩模紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 无掩模紫外光刻机 |
| 预算金额： | 90.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
采购内容:光刻机；主要功能或目标:发挥微纳加工技术在水工智能材料交叉研究中的关键作用。同时也能支持学生进行自主创新实验，切实有效提升实践教学水**人才培养质量。；需满足的要求:该套光刻机系统要求采用双波段紫外LED光源，支持压电主动对焦或光学（激光）自动对焦，通过数字微透镜（DMD）技术进行无掩模光刻，且每个光源均可独立实现整个光刻过程（包括单次光刻、套刻及拼接等），可加工出特征尺寸为微米和亚微米尺度的微小图案。既支持几平方毫米的小样品，也支持4英寸及以上大晶圆样品的光刻图案加工。通过该套光刻系统可对水工材料、半导体材料进行微米级图案快速直写。。
|
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： |
无
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-10-16
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