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无掩模版紫外光刻机一台（ZBZXHB2025023）延期公告

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四川 -成都

发布时间： 2025年10月17日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

掩模紫外光公告

招标详情

下文中****为隐藏内容，仅对千里马会员开放，如需查看完整内容请或拨打咨询热线： 400-688-2000

相关单位：

***********公司企业信息

延期信息

延期理由：

由于该项目报价情况不满足要求，本项目延期至2025-10-21 14:00

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

无掩模版紫外光刻机一台	****
2025-10-14 11:33:00	2025-10-21 14:00:00
****	请查看比选文件

	合同签订后15个日历日内
￥990000.00




**校区第一理科楼楼中124 房间
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

无掩模版紫外光刻机

台

其他光学仪器

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 990000.00

一、货物名称无掩模版紫外光刻机，一台二、技术要求 1.★光刻精度：至少支持三个光刻镜头：光刻镜头1：最小线宽≤6 μm，工作距离≥30 mm 光刻镜头2：最小线宽≤1.5 μm，工作距离≥19 mm 光刻镜头3：最小线宽≤0.8 μm，工作距离≥12 mm 2.★具备交互式套刻指引功能 3.▲具备图像识别对焦功能 4.★支持光刻镜头电动切换 5.★曝光波长：激光光源380 nm 6.数字掩模分辨率：≥1920 × 1080，微镜尺寸≤7.6 um 7.显微观测：支持显微观测且不会引起光刻胶变性 8.▲支持最大样品厚度：≥8 mm 9.▲支持最大样品尺寸：≥100 mm × 100 mm 10.★支持样品电动旋转 11.样品吸附：支持样品吸附 12.★设备软件：投标文件中需提供仪器彩页或者厂家白皮书等技术证明文件）原位光绘功能物像绑定功能成像拼接功能畸变矫正功能 13.画图软件：支持阵列画图、套刻画图 14.★支撑灰度光刻功能，灰阶256 15.★支持双吖丙啶光刻胶加工，响应产品制造商须对用户提供的样品做测试，并提供相关测试报告包含分辨率图和电极套刻图证明 16.★货期15个自然日内。 17.★为保证售后服务质量，拟中标供应商需出具生产厂家或者总代盖鲜章的授权书原件及售后服务承诺书原件注：带“★”号标记的条款为强制要求，带“▲”号标记的条款为重要指标，无标记条款为一般指标。标书代写

服务年限:12月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:一年;