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高真空镀膜机（JJ2025002407）采购公告

公告-招标公告

天津 -天津

发布时间： 2025年10月17日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

镀膜机采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

高真空镀膜机	****
2025-10-17 15:48:46	2025-10-20 16:00:00
****	合同签定生效后，预付合同总额的 40%；货物到达需方指定地点并安装验收合格，双方签字确认后，七个工作日内支付合同总额的 60%余款。

	合同签定生效后7个工作日内
￥




****校区电**学院盛帆楼268
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

高真空镀膜机

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

光拓

GT400-S2+4

￥

1 真空腔体尺寸要求：不小于400*400*400mm。 2 腔体真空性能要求：极限真空度≤8*10-5pa，抽真空速度要求从1*105Pa至5*10-4pa的时间≤1小时。腔体保压能力：要求机械泵停止运转12小时后真空度＜5pa。 3 蒸发源配置要求：配备2组舟源，可对金属，有机，无机物等材料进行蒸镀，要求每组蒸发源均配备冷却系统。源与基片的垂直距离可调。配备至少2组低温有机束源，坩埚容量≥5cc，可对有机材料进行蒸镀。 4 电源配置要求：要求配置至少1台大功率蒸发电源，电源功率≥1KW，要求电流控制精度达到0.1A或更小。要求设备配置至少2台小功率蒸发电源，电源功率≥0.2KW，精度达到0.1A或更小，用于束源蒸发有机材料。 5 控制器要求：要求设备采用工控机控制，相关的操作均在电脑显示界面完成，且配备中文英文双语界面。要求蒸镀机带有自动蒸镀功能。 6 膜厚仪要求：要求膜厚控制器具有多通道控制功能，具备至少双通道监控膜层沉积的能力。要求蒸镀机配置的晶振传感器≥2个，膜厚速率显示精度要求至少0.01A/S。 7 基片盘要求：规定旋转样品台的尺寸为135mm*135mm。要求样品台带有水冷功能。要求掩模版到基片距离≤0.1mm，基板旋转速度调节范围为0-30 r/min。 8 蒸镀速率稳定性要求：≤±10%（0.1-0.5A/s），≤±5%（0.5-10A/s），≤± 4%（＞10A/s）； 9 单片内膜厚匀性要求：要求膜厚最大值和最小值差距＜5%。测试方法：有效区范围内3×3排列9点测量：（膜厚最大值-膜厚最小值）/（膜厚最大值+膜厚最小值）,单片尺寸：不大于15 mm×15 mm，测试设备可采用椭偏仪或台阶仪测量。

按国家法定或行业要求提供售后服务。