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| 精密界面平坦化加工系统 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 精密界面平坦化加工系统 |
| 预算金额: | 231.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他航空航天工业设备
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| 采购需求概况 : |
(1)功能包含Grinding、CMP和CP功能; (2)表面粗糙度:Grinding小于10nm,CMP和CP小于1nm; (3)加工尺寸范围 :兼容 6 英寸及以下圆形和方形; (4)平整度 :优于6μm@6 英寸 ; (5)适用材料特性 :适宜于软脆材料,耐受腐蚀性强酸强碱性化学试剂。
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| 预计采购时间: | 2025-11 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写