精密界面平坦化加工系统

发布时间: 2025年10月17日
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****2025年10至12月政府采购意向-精密界面平坦化加工系统 详细情况
精密界面平坦化加工系统
项目所在采购意向: ****2025年10至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 精密界面平坦化加工系统
预算金额: 231.000000万元(人民币)
采购品目:
A****9900其他航空航天工业设备
采购需求概况 :
(1)功能包含Grinding、CMP和CP功能; (2)表面粗糙度:Grinding小于10nm,CMP和CP小于1nm; (3)加工尺寸范围 :兼容 6 英寸及以下圆形和方形; (4)平整度 :优于6μm@6 英寸 ; (5)适用材料特性 :适宜于软脆材料,耐受腐蚀性强酸强碱性化学试剂。
预计采购时间: 2025-11
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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