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| 超表面等离激元金属材料沉积生长设备 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 超表面等离激元金属材料沉积生长设备 |
| 预算金额: | 230.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****9900其他航空航天工业设备
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| 采购需求概况 : |
1)基片尺寸:8英寸以下兼容; 2)坩埚位置:6个; 3)电子枪最高烘烤温度: >=80℃; 4)薄膜均匀性: ±3.5%; 5)最小成膜厚度:≤10nm,Cu镀膜速率:0.1A/s-10A/s;
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| 预计采购时间: | 2025-11 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写