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超高真空异质材料分子束沉积工作站

上海 -上海

发布时间： 2025年10月17日

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****2025年10至12月政府采购意向-超高真空异****工作站详细情况

超高真空异****工作站
项目所在采购意向：	****2025年10至12月政府采购意向
采购单位：	****
采购项目名称：	超高真空异****工作站
预算金额：	1880.000000万元(人民币)
采购品目：	A****9900其他航空航天工业设备
采购需求概况：	（1）生长室极限真空：优于2.0E-11Torr（通液氮后测量）；（2）生长室RGA分压测试：mass2＜2.0E-10，mass（3-200）＜5.0E-11；（3）生长最大晶圆尺寸：≥6英寸，兼容4英寸、3×3英寸；（4）衬底温度：最高温度≥800℃（衬底表面温度），控温精度≤±0.2℃；（5）衬底温度均匀性：<=±5℃@800℃ ，<=±1℃@190℃；（6）源炉温度控制精度≤±0.1℃；（7）源炉束流稳定性≤1%/24h；（8）表面缺陷密度≤500cm-2（碲镉汞厚度≥6μm）。
预计采购时间：	2025-11
备注：