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为便****政府采购信息,根据《****财政厅****政府采购意向公开工作的通知》等有关规定,现将****2025年10月(第2批)政府采购意向公告如下:
| 1 | 气体团簇技术开发测试平台 | 采购用于系统化研发气体团簇抛光、刻蚀、注入技术的一体化平台。要求包含超声喷注气体团簇源、气体团簇离化装置、团簇离子束整形装置、团簇质量筛选装置、团簇离子束探测装置、样品处理装置等,气体团簇离子束流强≥100μA,离子束传输率≥80%。 | 300 | 2025-11 | 否 | 否 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2025年10月20日