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薄膜铌酸锂异质集成工艺服务（XHGD-CG-2025179）延期公告

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浙江 -杭州

发布时间： 2025年10月20日

摘要信息

招标单位

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招标估价

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代理联系人

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投标截止时间

关键信息

薄膜铌酸锂集成工艺服务

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

薄膜铌酸锂异质集成工艺服务	****
2025-10-15 15:29:36	2025-10-23 17:00:00
****	服务验收合格后支付100%


￥185000.00





符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

步进式光刻机

小时

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 5000.00

根据客户具体要求进行光刻服务，其中光刻精度小于 180 nm，对准精度小于 40 nm，对焦精度小于 100 nm，步进精度小于 20 nm

质保期:6个月;

采购清单2

采购商品采购数量计量单位所属分类

介质刻蚀

小时

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 1250.00

配备ICP-RIE刻蚀，支持6寸及以下尺寸的晶圆刻蚀，可用于Si/SiO2/LN等材料的刻蚀，下电极尺寸不小于240mm，具备背氦冷却。气体包括O2, Ar, SF6, CHF3, C4F8, H2, CF4, N2, Cl2, BCl3等，偏压射频源不小于300W，ICP射频源不小于2000W

质保期:6个月;

采购清单3

采购商品采购数量计量单位所属分类

测试服务

项

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 2000.00

提供SEM测试服务，放大倍率不小于1000k倍，配备能谱仪；提供椭偏仪测试服务，光谱范围不小于200-2500 nm，最小光斑直径小于300 um，重复测量精度小于0.015nm

质保期:6个月;

采购清单4

采购商品采购数量计量单位所属分类

金属刻蚀

小时

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 1250.00

配备ICP-RIE刻蚀，支持6寸及以下尺寸的晶圆刻蚀，可用于Al/Cu等材料的刻蚀，下电极尺寸不小于240mm，具备背氦冷却。气体包括O2, Ar, SF6, CHF3, C4F8, H2, CF4, N2, Cl2, BCl3等，偏压射频源不小于300W，ICP射频源不小于2000W

质保期:6个月;

采购清单5

采购商品采购数量计量单位所属分类

等离子体增强化学气相沉积系统

小时

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 1500.00

根据客户需求完成等离子体增强化学气相沉积，支持8英寸以及下尺寸晶圆，同时支持TEOS沉积SiO2薄膜

质保期:6个月;

采购清单6

采购商品采购数量计量单位所属分类

晶圆键合

项

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 2000.00

支持8寸及以下的晶圆介质键合，支持二氧化硅-二氧化硅键合，最大键合压力大于50kN，加热温度范围室温-500℃

质保期:6个月;

采购清单7

采购商品采购数量计量单位所属分类

化学机械抛光

小时

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

￥ 3000.00

支持 8 inch 及以下晶圆的化学机械抛光，抛光头压力范围0.14-14psi，抛光后表面粗糙度Ra≤0.5nm，抛光后薄膜均匀性≤±5%

质保期:6个月;

标书代写

招标进度跟踪

2025-10-28

中标通知

薄膜铌酸锂异质集成工艺服务（XHGD-CG-2025179）成交结果公告

2025-10-20

信息变更

薄膜铌酸锂异质集成工艺服务（XHGD-CG-2025179）延期公告

当前信息

2025-10-15

招标公告

薄膜铌酸锂异质集成工艺服务（XHGD-CG-2025179）采购公告

招标项目商机

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