半导体参数分析仪采购项目采购公告

是否接受进口

接受进口

品牌

吉时利、是德科技、概伦

型号

4200A-SCS、B1500A、FS-Pro

技术规格及参数

1、参数分析仪主机
(1)可支持9个功能模块插槽。
(2)可支持6个双通道PMU模块。
(3)提供软件包: 软件具有450多个应用测试库。用户界面提供触滑或点击控制功能，能为现代半导体、材料和工艺表征提供高级测试定义、参数分析、图表绘制和自动化功能。
(4)内置接地单元：提供双三同轴输出端接口、5路接线柱。最大电流：使用双三同轴连接时为2.6A；使用5路接线柱时为9.5A。
(5)15.6英寸触摸屏高清显示器(1920x1080) 。
(6)接口：USB,VGA,HDMI,RS-232,以太网。
(7)内置测量视频：测试视频由全球应用工程师提供，分为4 种语言
2、高功率源测量单元 2个
(1)功率：21W
(2)电流测量量程：8个量程,1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA
(3)电流测量最小分辨率：100fA
(4)电压测量量程：4个量程，200V,20V,2V,200mV
(5)电压测量最小分辨率：0.2uV
(6)电流源量程：8个量程，1A,100mA,10mA,1mA,100μA,10μA,1uA,100nA
(7)电流源最小分辨率：5pA
(8)电压源量程：4个量程，200V,20V,2V,200mV
(9)电压源最小分辨率：5uV
(10)输入阻抗：＞10^13Ω
(11)测量接口：每个SMU上三个迷你三同轴(母头)接口，用于Force、Sense 和Sense Lo，一个定制15针D-Sub(母头)接口
3、远程前端放大器模块1个
(1)功能：可扩展任意SMU型号的电流范围，扩展SMU提供5个小量程10nA,1nA,100pA,10pA,1pA，最小分辨率:10aA。
(2)输入接口：一个定制接口，15 针，D-Sub (公头)
(3)输出接口：两个三同轴接口(母头)
4、C-V多频率电容单元，1个
(1)AC阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
(2)测量参数:CP-G, CP-D, CS-RS, CS-D, R-jX, Z-theta
(3)频率范围:1kHz ~ 10MHz
(4)源频率精度:±0.1%
(5)信号输出电平范围：10 mVrms ~ 1Vrms
(6)分辨率:1mVrms
(7)输出阻抗:100Ω
(8)DC 电压偏置范围:±30V(60V差分)
(9)DC 电压偏置分辨率:1.0mV
(10)最大DC电流:10mA
(11)扫描参数 ：DC偏置电压, 频率, AC电压
(12)扫描类型: 线性, 自定义
(13)扫描方向:向上扫描, 向下扫描
(14)测量点数: 4096
(15)输出接口: 四个SMA接口(母头)
5、IV/CV多通道开关模块,1个
功能：实现DC I-V 和C-V模块自动切换.最多四条通道。
6、所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件

质保期

3年质保

售后要求

1、保证为货物提供为期3年的保修,保修时间从验收签字起计算。在质保期内将严格遵守中华人民**国的相关法律和法规对货物提供“三包”等售后服务。 2、在保修期内设备出现的故障,要求在1小时之内响应,接到通知后2小时之内到现场服务,服务所需费用免费。 3、提供售后服务支持电话 4、培训要求： 要求供应商配有售后服务技术工程师，能提供及时、完善的售后服务和技术支持。提供免费安装调试和现场操作培训，确保仪器硬件和软件工作正常，并达到规定的各项指标，保证操作人员能够独立操作。保修期内，免费提供非人为因素损坏的一切维修服务(包括零部件更换等)。