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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 技术要求1 | 技术要求2 | 技术要求3 |
| 真空腔体 | 专用设备及配件>其他专用设备 | 1.0套 | 1.0套 | (1)真空腔体内部尺寸1500×1500×1700mm(长×宽×高),允差±25mm; (2)漏率:q≤1.0×10-2Pa*L/s(20h后) | (3)工艺室极限真空度:优于8×10-4Pa;稳定工作状态下真空度:优于5×10-2Pa; (4)由大气达到真空度8×10-4Pa时间小于40min; | (5)真空室大气条件下安装基准面平面度小于0.05mm; (6)真空腔体采用侧开门。 |