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东南大学 - 竞价公告（CB102862025001391）

公告-招标公告

江苏 -无锡

发布时间： 2025年10月23日

摘要信息

招标单位

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大学公告

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**** - 竞价公告（****）

发布时间：2025-10-23 09:27:05 截止时间：2025-10-28 09:00:00标书代写

申购主题：高真空磁控溅射薄膜沉积系统

报价要求：国产含税

发票类型：增值税专用发票

付款方式：货到验收合格后付款

收货地址： **省/**市/**区/****

供应商资质：

备注说明：

送货时间：合同签订后15天内送达

安装要求：免费上门安装（含材料费）

预算：人民币

采购内容数量/单位预算单价品牌型号规格参数质保及售后服务附件

高真空磁控溅射薄膜沉积系统

1.0/台

**科仪

TRP450FS-1

1. 片内膜厚均匀性：≤±5%： 2. 极限真空度：≤6.6x10-6Pa(经烘烤除气后) 3. 抽速：25分钟可达到6.6x10-4 Pa 4. 真空室尺寸：Ф450mmx400mm 5. 磁控靶：3套，规格2英寸 6. 直流电源500W，数量2台 7. 射频电源500W，数量1台 8. 基片台尺寸：4英寸 9. 样品台炉丝温度： 800℃±1℃（无氧环境） 10. 质量流量控制气：3路（氩气、氧气、氮气）流量准确度±1.5%F.S 11. 脂润滑分子泵1台，抽速不小于1300L/S 12. 旋片真空泵1台，抽速不小于13L/S 13. 复合真空计1台：1x105Pa-1x10-7Pa 14. 工艺薄膜规 13.3pa或10pa（精度0.5%） 15. 该系统具有完备的自锁、互锁保护系统，并对关键部件有完备的故障报警及报警动作保护措施，确保设备使用安全。该系统采用配方式自动工艺流程，提供开放式工艺编辑、存储与调取执行，可实现真空获得、控制温度、镀膜工艺、真空释放等工艺的自由组合，并一键式全自动运行。

1.设备整体质量保证期为验收之日起 12 个月。 2.一年内免费维修正常使用出现的故障，非正常的故障维修只核收工本费，终身维修只核收工本费。