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化学机械抛光设备等半导体器件专用设备模组制造项目

审批

江苏-泰州-姜堰区

发布时间： 2025年10月27日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****1204MABQBMFY43	何平
茆亚明	******市
省市区街道陈庄西路518号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

化学机械抛光设备等半导体器件专用设备模组制造项目	****

2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造	C3562-C3562-半导体器件专用设备制造
	****市 ****市
经度:120.075278 纬度: 32.486944	****环境局
	2025-01-23
泰环审（**）〔2025〕001号	****1204MABQBMFY43001U
2025-03-28	25000
620	****
****1204MABQBMFY43	******公司
913********348292G	华睿**公司
****0191MA1XF50Q7R	2025-08-13

2025-09-22	2025-10-24
	**建设项目环境信息公示平台

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

根据《报告书》评价结论，在落实《报告书》中提出的各项污染防治措施的前提下，仅从生态环境角度考虑，原则同意航菱微**公司**开发区俞田路68号建设的化学机械抛光设备等半导体器件专用设备模组制造项目环境影响评价结论意见	本项目实际工程建设内容、主要设备与环评一致。
无变动

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

项目建成后，形成年产半导体设备模组250件的生产能力，同时不应突破《报告书》中配套表面处理能力	项目未扩大生产规模、未突破《报告书》中配套表面处理能力等
无变动

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

严格按照环评报告中的原料及工艺进行生产，不得擅自增加原料或改变生产工艺；严格执行国家产业政策，不得采用国家明令禁止的生产工艺和设备和产品；全过程贯彻清洁生产原则和循环经济理念，持续加强全过程环境管理，减少污染物产生量、排放量。	本项目严格按照环评中的原料及工艺进行生产；项目采用先进的生产设备和工艺，将加强生产管理，将污染物排放降至最低程度。
无变动

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、按“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”原则设计、建设、完善厂区给排水系统。项目运营期产生的废水主要为脱脂废水、综合废水、氟磷废水、含铬废水、含镍废水及生活污水。**经济开发区处理厂集中处理；脱脂废水、氟磷废水、含镍废水、含铬废水、综合废水进入相应预处理系统处理后进入零排放处理系统处理，蒸发冷凝水全部回用至生产。 2、从废气产生源头进行控制，加强生产过程的管理和控制，减少废气排放。本项目有组织排放废气主要为表面处理工序废气（含酸蚀、酸洗、电解抛光废气等）、涂装废气（含喷砂、喷塑、喷漆废气）、天然气燃烧废气、机加工切割及打磨粉尘、金属焊接烟尘、塑料折弯焊接烟尘及油雾废气、污水处理站废气、危废暂存库废气等。表面处理工序废气经密闭收集，采用“二级碱液喷淋洗涤装置”处理后，分别通过1#~3#、6#~7#排气筒（1#~2#和6#排气筒高25米、3#和7#排气筒高29米）排放；涂装废气经密闭收集，采用“一级水喷淋+干式过滤+二级活性炭吸附” 装置处理后，通过24米高的4#~5#排气筒排放；机加工不锈钢打磨粉尘经集气罩收集，采用“布袋除尘器”处理后，通过25米高的8#排气筒排放；机加工切削废气、塑料折弯焊接废气经集气罩收集，采用“二级活性炭装置”处理后，通过25米高的9#排气筒排放；机加工切割、焊接废气经集气罩收集，进入布袋除尘器处理后，通过25米高的10#排气筒排放；危废暂存间废气经密闭收集，进入二级活性炭装置处理后，通过25米高的11#排气筒排放；污水处理站废气经密闭收集，采用“一级碱喷淋+一级活性炭”装置处理后，通过15米高的12#排气筒排放；天然气低氮燃烧废气通过25米高的13#排气筒排放。项目运营无组织排放废气主要为机加工焊接烟尘及未被有效收集的表面处理工序废气、涂装废气及机加工切割废气等，机加工焊接烟尘由移动式烟尘净化器处理后车间排放。项目拟通过物料密封储运、定期检查废气收集设备密闭性等措施减轻废气无组织排放对周围环境的影响。项目运营期阳极氧化工序产生的硫酸雾、硝酸雾（以氮氧化物计）、氟化物有组织排放执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5限值，加热器天然气燃烧产生的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物有组织排放及烟气黑度执行《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB32/3728-2020）表1限值，基准氧含量执行表5限值；涂装工序产生的颗粒物、挥发性有机物（以非甲烷总烃计）有组织排放执行《工业涂装工序大气污染物排放标准》（DB 32/4439-2022）表1限值，电解抛光、塑料清洗产生的硫酸雾、氮氧化物、氟化物，机械加工、切割、焊接产生的颗粒物、非甲烷总烃，塑料折弯产生的非甲烷总烃，危废暂存库产生的酸雾（以氮氧化物计）、非甲烷总烃有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041-2021）表1限值，厂区内非甲烷总烃无组织排放执行表2标准，厂界氯化氢、氮氧化物、氟化物、氰化氢、颗粒物、硫酸雾、非甲烷总烃排放执行表3限值；污水处理站产生的硫化氢、氨、臭气浓度排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新改扩建标准值和表2标准值。 3、选用低噪声设备并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。 4、合理规划生产布局，选用低噪设备，采取有效的噪声防治措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类区标准。 5、按“化、减量化、无害化”原则落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。固体废物在厂内的堆放、贮存、转移应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》 (GB18599-2020)、《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)及修改单和相关管理要求，防止产生二次污染。危险废物转移应当遵循就近原则，及时清运并委托有资质单位规范处置。	1、本项目厂区设置“清污分流、雨污分流、一水多用、分质处理”给排水系统。**园区统一收集处理。生产废水分质分类进入相应预处理系统处理后进入零排放处理系统处理，蒸发冷凝水全部回用至生产。 2、4、项目按照环评及批复要求落实了有效的废气污染防治措施，从源头进行控制，对工艺废气收集治理。表面处理工序废气经密闭收集，采用“二级碱液喷淋洗涤装置”处理后，分别通过1#~3#、6#排气筒（1#~2#排气筒高25米、3#和6#排气筒高29米）排放；涂装废气及天然气燃烧废气经密闭收集，采用“一级水喷淋+干式过滤+二级活性炭吸附” 装置处理后，通过24米高的4#~5#排气筒排放；机加工不锈钢打磨粉尘经集气罩收集，采用“布袋除尘器”处理后，通过25米高的7#排气筒排放；机加工切削废气、塑料折弯焊接废气经集气罩收集，采用“二级活性炭装置”处理后，通过25米高的8#排气筒排放；机加工切割、焊接废气经集气罩收集，进入布袋除尘器处理后，通过25米高的9#排气筒排放；危废暂存间废气经密闭收集，进入二级活性炭装置处理后，通过25米高的10#排气筒排放；污水处理站废气经密闭收集，采用“一级碱喷淋+一级活性炭”装置处理后，通过15米高的11#排气筒排放。项目运营无组织排放废气主要为机加工焊接烟尘及未被有效收集的表面处理工序废气、涂装废气及机加工切割废气等，机加工焊接烟尘由移动式烟尘净化器处理后车间排放。项目通过物料密封储运、定期检查废气收集设备密闭性等措施减轻废气无组织排放对周围环境的影响。项目运营期阳极氧化工序产生的硫酸雾、硝酸雾（以氮氧化物计）、氟化物有组织排放执行《电镀污染物排放标准》（GB21900-2008）表5限值，加热器天然气燃烧产生的颗粒物、二氧化硫、氮氧化物有组织排放及烟气黑度执行《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB32/3728-2020）表1限值，基准氧含量执行表5限值；涂装工序产生的颗粒物、挥发性有机物（以非甲烷总烃计）有组织排放执行《工业涂装工序大气污染物排放标准》（DB 32/4439-2022）表1限值，电解抛光、塑料清洗产生的硫酸雾、氮氧化物、氟化物，机械加工、切割、焊接产生的颗粒物、非甲烷总烃，塑料折弯产生的非甲烷总烃，危废暂存库产生的酸雾（以氮氧化物计）、非甲烷总烃有组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB 32/4041-2021）表1限值，厂区内非甲烷总烃无组织排放执行表2标准，厂界氯化氢、氮氧化物、氟化物、氰化氢、颗粒物、硫酸雾、非甲烷总烃排放执行表3限值；污水处理站产生的硫化氢、氨、臭气浓度排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中二级新改扩建标准值和表2标准值。 3、项目选用低噪设备，采取有效的噪声防治措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中3类区标准 4、项目按照环评方案合理规划生产布局，选用低噪设备，采取有效的噪声防治措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中3类区标准 5、本项目按照“减量化、化、无害化”原则，对生产过程中产生的各类固废妥善处理或综合利用。项目运行中产生的危险废物须委托有资质单位安全处置，所有危险废物转移须按规定办理危险废物转移审批手续;生活垃圾委托当地环卫部门处理。本项目严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求建立了危险废物暂存库，满足防雨淋、防扬散、防渗漏、防流失等要求。废物临时堆场均按照《环境保护图形-固体废物贮存(处置场)》(GB15562.2-1995)要求设置了环保标志牌。项目运营过程中严格执行危险废物管理制度，强化危险废物暂存及运输的环境保护措施，确保暂存及运输过程不发生环境安全事故。
无变动

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1、本项目拟在A 栋厂房、B 栋厂房、废水站、危废仓库边界外设置100米卫生防护距离。目前，该范围内无住宅、学校、医院等环境敏感目标，你单位应提醒相关部门今后该范围内不得规划、住宅、学校、医院等环境敏感目标。 2、落实《报告书》中提出的分区防渗要求，做好土壤和地下水污染防治工作。项目厂区采取分区防渗措施，表面处理生产线和喷涂线区域、化学品仓库、废水管路、危废暂存库、废水处理站划分为重点防渗区，厂房其余区域划分为一般防渗区。强化各项环境风险防范措施，有效防范环境风险。落实《报告书》提出的环境风险防范措施及突发环境事件应急预案编制要求，定期排查突发环境事件隐患，按要求配备环境应急设备和物资。采取切实可行的工程控制和管理措施，规范设置事故污染物收集系统，保证足够容量的事故废水收集能力，确保事故废水不进入外环境。 3、严格落实企业环保主体责任，依法主动申领排污许可证，并做到持证、按证排污。按《省排污口设置及规范化整治管理办法》的要求，规范化设置各类排污口和标识牌，并按规范设置监测采样口。 4、企业所需污染物排放总量应根据《**市排污权有偿使用和交易管理试行办法》管理要求，通过排污权交易有偿取得。 5、建设项目需要配套建设的环境保护设施，必须与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用。该项目竣工后，须按规定对配套建设的环境保护设施组织验收。经验收合格后，方可投入生产。 6、项目的污染防治设施及环境风险防范措施必须与主体工程同时建成并投入使用，并按规定申办项目竣工环保验收手续。 7、本项目自批准之日起满5年未开工建设的，其《环境影响评价报告书》应当报我局重新审核。项目建设的性质、规模、地点、采取的工艺或防治污染、防止生态破坏的措施等发生重大变化的，建设单位应当重新报批该项目的环境影响评价文件。	1、本项目已在A 栋厂房、B 栋厂房、废水站、危废仓库边界外设置100米卫生防护距离。 2、本项目厂房建设过程中已按要求落实了各项分区防渗措施。项目表面处理生产线和喷涂线区域、化学品仓库、废水管路、危废暂存库、废水处理站及其他污染区地面进行了防腐、防渗处理，避免污染土壤和地下水。项目按照《报告书》要求，落实了各项环境风险防范和事故减缓措施，制定了环境风险应急预案。配备了现场应急物资，建立了健全各项环保管理制度，落实环保工作责任制。在运营过程中，将继续加强环境安全管理，定期组织开展环境风险应急预案演练，杜绝污染事故发生。 3、本项目试运营前已取得排污许可证；本项目已按要求规范化设置各类排污口和标志并按相关要求设置监测采样口。 4、本项目已按要求通过排污权交易有偿取得，交易编号：321******007 5、本项目试运营前已取得排污许可证，编号：**1283MAC2GQC993001P；严格落实污染物排放总量指标及控制要求，所有污染物做到达标限量排放。 6、项目的污染防治设施及环境风险防范措施均与主体工程同时建成并投入使用，按要求申办项目竣工环保验收手续。 7、本项目已建成，项目的性质、规模、地点、工艺或防治污染、防治生态破坏的措施等不涉及重大变动
无变动

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）硫酸雾(吨/年) 氟化物(吨/年) 氨气(吨/年) 硫化氢(吨/年)

0.144	0.144	0.144	0.144
0.072	0.072	0.072	0.072
0.007	0.007	0.007	0.007
0.001	0.001	0.001	0.001
0	0	0	0
28.63	28.63	28.63	28.63	/
0	0.021	0	0	/
0.063	0.1013	0.063	0.063	/
0.0953	0.1038	0.095	0.095	/
0.059	0.137	0.059	0.059	/
0.0003	0.003	0	0	/
0	0.021	0	0	/
0.0001	0.0002	0	0	/
0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	生产废水	《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T19923-2024）	与环评一致	本项目生产废水分类收****处理站处理后全厂零排放，验收监测期间，各生产废水处理后回用水指标均符合环评要求
2	生活污水	**开发区**处理厂接管标准	与环评一致	**经济开发区水厂，验收监测期间，生活污水经济开发区**处理厂接管标准要求。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	电解抛光线酸性废气	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1 标准	与环评一致	废气处理设施出口处氮氧化物未检出（检出限3mg/m3）
2	清洗氧化线酸性废气	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准	塑料清洗线及化学清洗试验线段废气收集后经二级碱喷淋（1-2）处理后通过25m高排气筒（2#）排放	废气处理设施出口处氟化氢未检出（检出限0.06mg/m3）、氮氧化物未检出（检出限3mg/m3）、硫酸雾平均浓度为0.21mg/m3
3	清洗氧化线阳极氧化段废气	《电镀污染物排放标准》（GB 21900-2008）表5标准要求	与环评一致	废气处理设施出口处氮氧化物未检出（检出限3mg/m3）、硫酸雾未检出（检出限0.2mg/m3）
4	喷涂线有机废气	非甲烷总烃、颗粒物执行《工业涂装工序大气污染物排放标准》（DB32/4439-2022），二氧化硫、氮氧化物执行《工业炉窑大气污染物排放标准》（DB32/3728-2020）	与环评一致	B栋二层喷涂线废气及天然气燃烧废气处理设施出口处非甲烷总烃平均浓度为1.22mg/m3、颗粒物平均浓度为1.42mg/m3、二氧化硫未检出（检出限3mg/m3）、氮氧化物最大浓度为3mg/m3；B栋三层喷涂线废气及天然气燃烧废气处理设施出口处非甲烷总烃平均浓度为3.58mg/m3、颗粒物平均浓度为2.27mg/m3、二氧化硫未检出（检出限3mg/m3）、氮氧化物最大浓度为3mg/m3
5	阳极氧化试验线酸性废气	《电镀污染物排放标准》（GB 21900-2008）表5标准要求	与环评一致	废气处理设施出口处氟化物未检出（检出限0.06mg/m3）、氮氧化物未检出（检出限3mg/m3）、硫酸雾平均浓度为0.22mg/m3
6	机加工废气	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准	与环评一致	A栋机加工打磨工段粉尘废气处理设施出口处颗粒物平均浓度为1.47mg/m3、镍及其化合物未检出（检出限0.9μg/m3）、铬及其化合物未检出（检出限4μg/m3）；A栋机加工切削段及塑料折弯焊接段有机废气处理设施出口处非甲烷总烃平均浓度为0.71mg/m3；A栋机加工焊接工段粉尘废气处理设施出口处颗粒物平均浓度为1.47mg/m3、镍及其化合物未检出（检出限0.9μg/m3）、铬及其化合物未检出（检出限4μg/m3）
7	危废暂存库有机废气	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1标准	与环评一致	废气处理设施出口处非甲烷总烃未检出（检出限0.07mg/m3）、氮氧化物未检出（检出限3mg/m3）
8	废水站废气	《恶臭污染物排放标准》（GB 14554-93）	排气筒实际建设25m高，处理工艺与环评一致	废气处理设施出口处氨气平均浓度为0.33mg/m3、硫化氢未检出（检出限0.01mg/m3）、臭气浓度平均为1087

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

噪声设施

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准

与环评一致

验收监测期间，昼间、夜间厂界噪声均符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准（昼间65dB(A)、夜间55dB(A)）要求

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程