全息光栅模板光刻加工项目零星结果公告

采购项目名称

全息光栅模板光刻加工

采购项目类别

货物（国产□进口免税□进口不免税□）服务√工程□

经费来源

(****68241)罗运辉2024横向-2024罗运辉横向

项目经办人

罗运辉

手机

全息光栅模板光刻加工服务协议

调研供应商√

网上竞价□

（须至少3家）

A、供应商名称：****公司,供应商电话：134****0099,供应商报价：49500元

B、供应商名称：****,供应商电话：138****8484,供应商报价：48000元

C、供应商名称：**诺****公司,供应商电话：187****5028,供应商报价：49000元

采购结果

（与拟成交供应商自行签订的采购合同一致）

成交供应商名称：****

成交时间：2025-10-08

成交总价（即合同价格）：48000.00 元人民币

成交内容（名称及数量）：甲方委托乙方进行全息光栅模板光刻加工服务，并支付开发费用

主要技术参数（型号、规格等）：根据甲方提供的微纳光栅设计图纸及全息效果参数，完成微纳结构全息光栅模板的全流程加工，交付合格样版1套（含模板主体及保护套）。需确保模板表面微纳结构与设计图纸1:1匹配，全息动态效果、立体层次感达到甲方预设标准，可直接用于后续标签批量模压生产。 1.光刻加工： ①基板预处理：选用纯度≥99.5%的铝基板，采用丙酮-乙醇混合溶液进行3次交替超声清洗，清洗后用去离子水冲洗，氮气吹干，确保基板表面粗糙度Ra≤0.02μm，无油污、氧化斑及微尘； ②抗蚀剂涂覆：在基板表面涂覆正性光致抗蚀剂，最终涂层厚度②2μm±0.1μm，涂层表面无气泡、流痕及针孔缺陷； ③固化处理：将涂覆抗蚀剂的基板放入恒温热板烘烤2分钟，烘烤后自然冷却至室温，避免抗蚀剂因温差产生内应力； ④光刻成像：根据设计图纸中微纳结构尺寸，通过预曝光测试确定最佳光刻参数（电子束光刻剂量50-80μC/cm2，激光直写功率10-20mW），确保光刻后图形尺寸误差≤±0.5%，结构边缘光滑度≤50nm； ⑤显影定影、溅射镀银：保证微纳结构轮廓清晰，无残胶残留；采用磁控溅射设备在显影后的微结构表面沉积银层，银层厚度控制在8-12nm，若未达标则调整光刻曝光强度、显影时间等参数重新加工。 2.镀膜与成型： ①电镀镀镍：对光刻合格的基板进行酸性镀镍处理，保证镀层均匀性（同一版面厚度差≤2μm），镀层硬度≥HV500，无针孔、起皮、鼓包等缺陷； ②模板精修：确保模板外观平整，无尖锐棱角，便于后续装机使用。 3.性能验证：①真空镀铝测试：在真空镀铝机内对PET膜进行镀铝，镀铝后检测铝层反射率≥85%；②复合附着力测试：按GB/T2792-2014标准测试剥离强度，需≥2N/cm，剥离后纸张无残胶、无破损，模板压制的图案无变形、模糊。

依据《****大学****学院）零星采购实施细则》，****小组采用竞争性磋商√、竞争性谈判□、网上竞价□、询价□、单一来源□、续签□、其他有效竞价□的方式，通过货比三家、集体决策完成了本次采购。****小组成员如下：

组长（签字）：王庆

采购人员1（签字）：罗运辉 采购人员2（签字）：胡桂春

采购单位审批意见 ：

负责人（签字）：

（公章）

公示结果

年 月 日

填表须知：①此表仅用于零星采购项目的公示及备案；②采****管理部门职责权限（水、电、气、建筑结构、消防管理及资产管理）的，****管理部门办理相应手续；③****小组成员必须均是教职工、采购人员必须两位、采购单位负责人（处长或院长）必须签字；