可视化CVD系统

功能要求： 要求设备可用于CVD实验，双温区，可独立控温，且最高温度大于1000 ℃，可精控气流，同时在实验过程和材料生长过程可进行实时观测及参数调控，同时记录相关的现象及数据。 设备主要组成和技术指标： 1．可视化核心热台：双温区，可更换反应腔体的管式设计，拥有2个独立温区，2个观察窗口，最高工作温度1050℃，最快升降温速率100℃/min，观察孔尺寸Φ8mm，热场长度80mm； 2．温控箱：控温精度±0.5℃，温度显示精度±0.1℃，电压AC220V，智能软件控制，通讯接RS485，波特率1200-115200bps； 3．水冷系统：工作电压AC 220V，工作频率50Hz，名义制冷量890W，最大流量10L/min，水箱容量6L，压缩机过流保护，流量报警，超温报警； 4．光学反应腔体，中间方形两端圆形结构设计，方形腔体部分尺寸80x11x11mm(外径)，材料紫外石英，透光范围200~2500nm； 5．高温送料器，行进距离≥80mm，实时移动； 6．载物坩埚，氧化铝材质，可正/倒放置透明或非透明衬底。正面放区域宽度≥4.8mm，倒扣放置区域宽度 ≥4.25mm； 7．金相显微系统：立柱式无限远色差校正光学系统，可用空间高度≥195mm，显微镜粗微调同轴，粗调行程 32mm，微调精度0.002mm 8．载物台：独立XY轴位移平台，移动距离±12.5mm； 9．成像系统：高清数码相机，500万像素，分辨率2.4x2.4μm，曝光时间：0.105ms~15s。 10．物镜：RMS标准螺纹，5X无限远长工作距离物镜，10X无限远长工作距离物镜，20X无限远长工作距离物镜，50X无限远长工作距离物镜； 11．质量精控混气箱，可支持3路MFC气路； 12．真空泵：抽速≥8L/s，极限全压强≤10Pa，防护等级IP44，KF16进气排气接口，噪音≤52dB，重量21kg； 13．真空转接系统：连接真空泵和混气箱以及热台； 14．软件，集成温控、影像、气路的控制和数据记录，2年免费升级服务。

按行业标准提供服务