6自由度激光干涉测长系统

发布时间: 2025年10月29日
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****2025年10至12月政府采购意向-6自由度激光干涉测长系统 详细情况
6自由度激光干涉测长系统
项目所在采购意向: ****2025年10至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 6自由度激光干涉测长系统
预算金额: 144.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0309激光仪器
采购需求概况 :
拟采购的6自由度激光干涉测长系统用于工件台多自由度高精度位移测量及高速反馈。该6自由度激光干涉测长系统包含干涉仪及相关镜组、长条镜组,细分和数字化处理轴卡等。主要技术指标:X向测量范围:≥±125mm,Y向测量范围:≥±155mm,Z向测量范围:≥±1mm,RX、RY、RZ测量范围:≥300urad;分辨率:≤0.2nm;最大测量速度:≥300mm/s
预计采购时间: 2025-12
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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