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减薄、CMP、激光设备及砂轮研发制造项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0214MA223HR07X | 建设单位法人：王燕清 |
| 金逸翔 | 建设单位所在行政区划：******区 |
| **市**区长**路25号 |
建设项目基本信息
| 减薄、CMP、激光设备及砂轮研发制造项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:070-采矿、冶金、建筑专用设备制造；化工、木材、非金属加工专用设备制造；食品、饮料、烟草及饲料生产专用设备制造；印刷、制药、日化及日用品生产专用设备制造；纺织、服装和皮革加工专用设备制造；电子和电工机械专用设备制造；农、林、牧、渔专用机械制造；医疗仪器设备及器械制造；环保、邮政、社会公共服务及其他专用设备制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3562-C3562-半导体器件专用设备制造 |
| 建设地点： | ******区 ******区 |
| 经度:120.393056 纬度: 31.505556 | ****机关：****环境局 |
| 环评批复时间： | 2025-05-27 |
| 锡数环许〔2025〕7088号 | 本工程排污许可证编号：****0214MA223HR07X001W |
| 2025-09-22 | 项目实际总投资(万元)：24300 |
| 500 | 运营单位名称：**** |
| ****0214MA223HR07X | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| ****0214MA1RA0593R | 验收监测单位：**市恒信****公司 |
| 913********329892 | 竣工时间：2025-07-31 |
| 调试结束时间： | |
| 2025-09-29 | 验收报告公开结束时间：2025-10-31 |
| 验收报告公开载体： | https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=478403 |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 无 | 是否属于重大变动：|
规模
| 全厂年产：减薄设备70台，CMP设备100台，激光开槽机70台，激光打标机30台，减薄机专用砂轮1200个 | 实际建设情况：全厂年产：减薄设备50台，CMP设备50台，激光开槽机50台，激光打标机20台 |
| 分阶段验收 减薄机专用砂轮不生产 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 1、减薄设备生产工艺：（1）主轴组件装配、测试线：主轴零件擦拭→主轴组件装配→动平衡→主轴组件入库，（2）减薄机装配线：零件清洗→组件装配→整机装配→整机调试→整理、打包、出厂；2、减薄设备调试工艺：工作卡盘自清洗→晶圆研磨→晶圆双面清洗→UV光解Tape膜→贴Dicing膜→撕离Tape膜→晶圆下料；3、CMP设备生产工艺：零件清洗→组件装配→整机装配→整理、打包、出厂；4、CMP设备调试工艺：晶圆研磨（**）→高压水冲洗→刷洗（**）→晶圆干燥→晶圆传回晶圆盒；5、激光开槽机、打标机生产工艺：零件擦拭→组件装配→整机装配→整机调试→整理、打包、出厂；6、激光开槽机测试工艺：晶圆抓取、定位→晶圆涂覆（镭射保护液原液）→激光切割开槽→晶圆清洗→下料；7、打标机测试工艺：晶圆扫描抓取→寻边、读码、晶圆定位→CCD视觉定位→打标→下视觉打标检测→下料；8、减薄机专用砂轮生产工艺；9、纯水制备工艺：石英砂过滤→活性炭过滤→保安过滤器→二级RO系统→EDI系统→抛光循环系统 | 实际建设情况：1、减薄设备生产工艺：（1）主轴组件装配、测试线：主轴零件擦拭→主轴组件装配→动平衡→主轴组件入库，（2）减薄机装配线：零件清洗→组件装配→整机装配→整机调试→整理、打包、出厂；2、减薄设备调试工艺：工作卡盘自清洗→晶圆研磨→晶圆双面清洗→UV光解Tape膜→贴Dicing膜→撕离Tape膜→晶圆下料；3、CMP设备生产工艺：零件清洗→组件装配→整机装配→整理、打包、出厂；4、CMP设备调试工艺：晶圆研磨（**）→高压水冲洗→刷洗（**）→晶圆干燥→晶圆传回晶圆盒；5、激光开槽机、打标机生产工艺：零件擦拭→组件装配→整机装配→整机调试→整理、打包、出厂；6、激光开槽机测试工艺：晶圆抓取、定位→晶圆涂覆（1:20稀释的镭射保护液）→激光切割开槽→晶圆清洗→下料；7、打标机测试工艺：晶圆扫描抓取→寻边、读码、晶圆定位→CCD视觉定位→打标→下视觉打标检测→下料；8、纯水制备工艺：石英砂过滤→活性炭过滤→保安过滤器→二级RO系统→EDI系统→抛光循环系统 |
| 分阶段验收 减薄机专用砂轮不生产 企业增加4只热风枪、4只电烙铁、1台三坐标仪。减薄设备、CMP设备、激光开槽机、激光打标机装配处热风枪和电烙铁由1用变为1用1备，产品增加三坐标仪检验。 激光开槽机测试时，在设备内部将晶圆输送至涂覆工位，设备自动涂覆上镭射切割保护液，转动转盘涂匀，测试完成后保护液通过吨桶收集。此工序会产生废保护液。实际生产中，镭射切割保护液需进行稀释，与水按1:20配比使用。 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 1. 贯彻节约用水原则，减少外排废水量。排水系统实施雨污分流；生产废水经厂内自建污水处理设施分质处理，达到回用水标准后全部回用于生产，不得外排；废水处理系统出口、回用水回用工序进口按国家有关规范安装流量计在线监控设备，并与**生态环境部门联网；生活污水经化粪池预处理，食堂废水经隔油池预处理后，一并达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中的三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T31962-2015）表1中标准后，****处理厂集中处理。本项目只允许设置1个污水排放口。2. 进一步优化废气处理方案，严格控制无组织废气排放，确保各类工艺废气的收集治理措施、处理效率及排气筒高度等均达到报告表提出的要求，各工艺废气分别经对应排气筒排放。（1）激光开槽机涂覆、切割废气经有效收集采用除尘器预处理后，同零件清洗、擦拭、防锈、CMP设备干燥、粘合、焊接废气经有效收集，一并采用二级活性炭吸附处理后，尾气通过32米高排气筒FQ01排放；（2）CMP调试、废水处理站生化池、危废仓库废气分别经有效收集，一并采用酸碱喷淋处理后，尾气通过32米高排气筒FQ02排放；（3）精加工废气经有效收集，采用静电除油器处理后，尾气通过32米高排气筒FQO3排放；（4）食堂油烟经有效收集，采用油烟净化器处理后通过32米高排气筒FQ04排放。本项目共设排气筒4根。 本项目产生的颗粒物、锡及其化合物、非甲烷总烃排放执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1和表3标准；氨、硫化氢、臭气浓度排放执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1和表2标准；厂区内非甲烷总烃无组织排放监控点浓度执行《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2排放限值；食堂油烟执行《饮食业油烟排放标准》（GB18483-2001）中标准。3. 选用低噪声设备，合理布局并采取有效的减振、隔声、消声等降噪措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类排放标准。4. 按“减量化、**化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，固体废物零排放。生活垃圾委托环卫部门处理；一般固废综合利用处置；危险废物应委托具备危险废物处置资质的单位进行安全处置，并按规定办理危险废物转移处理审批手续。固体废物在厂区的堆放、贮存、转移等应符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）和《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）的有关要求，防止产生二次污染。 | 实际建设情况：1. 经化粪池预处理的生活污水与经隔油池预处理的食堂废水一并接入市政污水管网，****处理厂集中处理。含硅废水经含硅废水处理系统处理，其他废水经其他废水预处理系统处理后经综合废水处理系统处理，一起进入中水回用系统处理后回用于制纯系统、冷却塔和喷淋塔补水，减薄机、CMP设备水路测试废水直接回用于制纯系统。本项目污水总排口中pH值、化学需氧量、悬浮物日均浓度值均符合《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）表4三级标准限值要求，氨氮、总磷、总氮日均浓度值均符合《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015）表1中A等级标准限值要求。2. 激光开槽机涂覆、切割废气经设备自带除尘器预处理后，经管道收集后与经通风橱收集的设备组装（零件清洗、擦拭、防锈）产生的有机废气和焊接废气、经排风管收集的设备调试（CMP设备干燥）产生的有机废气一并进入二级活性炭吸附装置处理后高空排放（FQ01）；CMP设备调试产生的碱雾、酸性废气经设备****处理站生化池产生的恶臭气体经管道收集后进入酸碱喷淋塔处理后高空排放（FQ02）；打标废气经设备自带除尘器处理后无组织排放；修磨废气经工业移动焊烟净化器/工业移动集尘器处理后无组织排放；生产工艺上产生的热废气经管道收集后高空排放；危废仓库产生的少量有机废气经排风扇收集进入二级活性炭吸附装置处理后由屋顶导出口排放，少量碱雾经排风扇收集进入喷淋塔处理后高空排放（FQ02）。排气筒FQ1中颗粒物、锡及其化合物、非甲烷总烃，排气筒FQ2中氮氧化物的排放浓度和速率符合**省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表1中标准限值要求；排气筒FQ2中氨、硫化氢、臭气浓度排放浓度符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表1中标准限值要求。厂内无组织非甲烷总烃排放浓度符合**省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表2中标准限值要求；厂界无组织非甲烷总烃、颗粒物、锡及其化合物排放浓度符合**省《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）表3中标准限值要求，氨排放浓度符合《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中标准限值要求。3. 本项目除废气处理风机位于楼顶上，其他噪声源均位于生产车间内。建设单位已合理布置厂区总平面布局，并采取车间、厂房墙壁隔音、距离衰减等综合治理措施。本项目厂界噪声检测点昼、夜间等效声级符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）表1中3类区标准限值要求。4. 企业产生的危废均委托有资质单位处置，一****公司回收，生活垃圾由环卫清运。所有固体废物零排放。收集的危险废物及时贮存至危废库内，危废库已按法律法规建设。 |
| 分阶段验收 含重金属废水不产生；食堂未建设，不产生食堂废水、废气、固废；砂轮不生产，不产生粘合废气及相关固废；精加工工序未建设，不产生相关固废 | 是否属于重大变动：|
其他
| 根据报告表推荐，全厂生产车间外周边50米范围，不得**居民住宅区、学校、医院等环境保护敏感点。 | 实际建设情况：全厂生产车间外50米范围内无环境敏感点。 |
| 无 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.264 | 0.288 | 0 | 0 | 0.264 | 0.264 | |
| 0 | 0.404 | 1.44 | 0 | 0 | 0.404 | 0.404 | |
| 0 | 0.093 | 0.13 | 0 | 0 | 0.093 | 0.093 | |
| 0 | 0.007 | 0.023 | 0 | 0 | 0.007 | 0.007 | |
| 0 | 0.115 | 0.202 | 0 | 0 | 0.115 | 0.115 | |
| 0 | 0.108 | 1.152 | 0 | 0 | 0.108 | 0.108 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0048 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.024 | 0.1221 | 0 | 0 | 0.024 | 0.024 | / |
| 0 | 0 | 0.0363 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0.0216 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 含硅废水处理系统 | / | 含硅废水经含硅废水处理系统处理后进入中水回用系统进行深度处理 | / | |
| 2 | 综合废水处理系统（含其他废水预处理系统） | / | 其他废水经其他废水预处理系统处理后经综合废水处理系统处理后入中水回用系统进行深度处理 | / | |
| 3 | 中水回用系统 | 《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T19923-2024） | 含硅废水经含硅废水处理系统处理，其他废水经其他废水预处理系统处理后经综合废水处理系统处理，一起进入中水回用系统处理后回用于制纯系统、冷却塔和喷淋塔补水 | 已监测 | |
| 4 | 化粪池 | 《污水综合排放标准》（GB 8978-1996）、《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T 31962-2015） | 生活污水经化粪池预处理后接入市政污水管网，****处理厂集中处理 | 已监测 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 二级活性炭吸附装置 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 激光开槽机涂覆、切割废气经设备自带除尘器预处理后，经管道收集后与经通风橱收集的设备组装（零件清洗、擦拭、防锈）产生的有机废气和焊接废气、经排风管收集的设备调试（CMP设备干燥）产生的有机废气一并进入二级活性炭吸附装置处理后高空排放（FQ01） | 已监测 | |
| 2 | 酸碱喷淋塔 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93） | CMP设备调试产生的碱雾、酸性废气经设备****处理站生化池产生的恶臭气体经管道收集后进入酸碱喷淋塔处理后高空排放（FQ02），危废仓库产生的少量碱雾经排风扇收集进入喷淋塔处理后高空排放（FQ02） | 已监测 | |
| 3 | 危废库二级活性炭吸附装置 | 《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021） | 危废仓库产生的少量有机废气经排风扇收集进入二级活性炭吸附装置处理后由屋顶导出口排放 | 已监测 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 噪声防治措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008） | 建设单位已合理布置厂区总平面布局，并采取车间、厂房墙壁隔音、距离衰减等综合治理措施 | 已监测 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 按“减量化、**化、无害化”的处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，固体废物零排放。生活垃圾委托环卫部门处理；一般固废综合利用处置；危险废物应委托具备危险废物处置资质的单位进行安全处置，并按规定办理危险废物转移处理审批手续。固体废物在厂区的堆放、贮存、转移等应符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）和《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2001）的有关要求，防止产生二次污染。 | 企业产生的危废均委托有资质单位处置，一****公司回收，生活垃圾由环卫清运。所有固体废物零排放。收集的危险废物及时贮存至危废库内，危废库已按法律法规建设。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，严格落实报告表环境风险分析篇章中的事故应急防范、减缓措施，防止生产过程、储运过程及污染治理措施事故发生。按照《****园区突发环境事件应急预案编制导则》(DB32/T3795-2020)的要求另行编制企业环境风险应急预案，并报生态环境部门备案。建设770m3事故应急池。 | 企业已建立环境风险应急管理体系与环境安全管理制度，已落实事故池、雨水排放口切断阀、防渗地面等措施，并编制突发环境事件应急预案，并备案，备案编号：320214-2025-243-L。已建设770m3事故应急池。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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