定制四英寸二氧化硅衬底(AHU-XNJJ20250357)采购公告

发布时间: 2025年10月31日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
定制四英寸二氧化硅衬底****
2025-10-31 10:18:062025-11-05 11:00:00
****货到验收付款
¥18000.00
蕙园11号楼

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
定制四英寸SiO2/Si衬底 20
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 800.00
一、 技术规格与要求 衬底材料:SiO2/Si结构 晶圆尺寸:4英寸。 SiO层:厚度285 nm,采用干法氧化工艺制备,漏电流指标<10 pA, 100 V。 Si层:P++型重掺杂,厚度500 μm,电阻率<0.01 Ω﹒cm。 工艺要求: 在4英寸衬底上通过光刻工艺制备用于光学定位的标记电极。 电极结构:包含两套不同间距的定位电极系统。大电极间距为1000 μm;小电极在大电极区域内进行套刻,间距为100 μm。位置标识采用“十字架+数字”的复合形式;大电极数字标记线宽为3 um,十字架单侧长度20-25 um,双侧长度40-50 um。小电极数字标记线宽为3 um,十字架单侧和双侧长度分别为13-15 um和 26-30 um。 定位电极:采用Ti/Au复合金属层,通过电子束蒸镀工艺实现,厚度要求为Ti层10 nm,Au层40 nm。 后处理:蒸镀金属后采用光刻标准除胶工艺,将光刻胶去除;将整体晶圆切成10 mm × 10 mm的方形单元衬底,切割深度为300 μm。 二、需要了解本项目情况请与李老师联系,联系电话:159****2332。 三、质疑与答复: 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑,须按《****非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求(请自行在****采购与招标信息网站查询下载),在网上竞价截标前提交书面质疑函,书面质疑函扫描件发至邮箱:****@qq.com 。********管理处****中心)联系电话:****1033,联系人:袁老师。逾期不予受理。 四、特别提醒: 1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件,如****公司授权并将授权书上传竞价网,否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规,单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目,学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3****学校****政府采购活动并同期从****供应商库中剔除,处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任一行为,除承担违约责任外,学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 ****学校****政府采购项目资格并同期从****供应商库中剔除,处罚期满后方可重新申请入库。 (1)提供虚假材料谋取中标(成交)或虚假供货的; (2)中标(成交)后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的; (3)不按竞价要求或合同约定履约的; (4)其他违反法律法规和采购规定的。标书代写
公司中标后送货上门,负责安装调试;本项目要求供应商具有本地化服务能力,本地化服务的能力是指具有以下条件之一:1)在本地注册成立的;2)在本地具****公司、办事处、售后服务机构等),具有固定的办公场所及人员。备注:“本地”系指:**市;

采购清单2
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
氟晶云母衬底 100
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 20.00
一、技术参数 化学式为KMg3(AlSi3O10)F2,不含(OH)ˉ,用Fˉ(氟)取代了(OH)ˉ羟基。 1、基本物理性能 密度:2.78~2.85×103kg/m3 莫氏硬度:3~3.4;显微硬度 Hv0.2:1.35GPa;S 硬度:138~146 吸水率:0.14%~0.23% 吸潮率:0~0.05% 马赛克性(Mosaicity):<0.25 2、热学性能 熔点:1375±5℃ 最高使用温度:1100℃ 热失重(40~1180℃):≤0.85% 比热容:836J/(kg﹒K) 导热率: 平行方向(‖):3.75W/(m﹒K) 垂直方向(⊥):0.55W/(m﹒K) 线膨胀系数(×10/K): 平行解理面(‖):10~12 垂直解理面(⊥):15~25 3、光学性能 光轴角:8°~14° 折射率: np:1.513~1.544 nm:1.539~1.564 ng:1.540~1.566 4、电学性能 体电阻率: 室温:101~101Ω﹒cm 电击穿强度(介电强度):185~238kV/mm 介电常数:5.6ε 介质损耗因数(tgδ):(1~4)×10 二、需要了解本项目情况请与李老师联系,联系电话:159****2332。 三、质疑与答复: 供应商如对该项目采购需求和技术参数有质疑,须按《****非政府采购项目质疑和投诉管理暂行办法》有关规定和质疑函格式要求(请自行在****采购与招标信息网站查询下载),在网上竞价截标前提交书面质疑函,书面质疑函扫描件发至邮箱:****@qq.com 。********管理处****中心)联系电话:****1033,联系人:袁老师。逾期不予受理。 四、特别提醒: 1.供应商须符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件,如****公司授权并将授权书上传竞价网,否则报价无效。 2.根据政府采购法律法规,单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一项目的采购活动。如有上述情况供应商参与同一竞价项目,学校将有权视情节轻重禁止其自处罚之日起1-3****学校****政府采购活动并同期从****供应商库中剔除,处罚期满后方可重新申请入库。 3.供应商如有以下任一行为,除承担违约责任外,学校有权视违规情节轻重禁止其自处罚之日起 1-3 ****学校****政府采购项目资格并同期从****供应商库中剔除,处罚期满后方可重新申请入库。 (1)提供虚假材料谋取中标(成交)或虚假供货的; (2)中标(成交)后无正当理由拖延或弃标、无正当理由拖延或拒不签订采购合同的; (3)不按竞价要求或合同约定履约的; (4)其他违反法律法规和采购规定的。标书代写
公司中标后送货上门,负责安装调试;本项目要求供应商具有本地化服务能力,本地化服务的能力是指具有以下条件之一:1)在本地注册成立的;2)在本地具****公司、办事处、售后服务机构等),具有固定的办公场所及人员。备注:“本地”系指:**市;

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