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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 型号 | 要求 |
| 传感器 | 电子元器件>其它元器件 | 12.0个 | 12.0个 | BSD002Bar | 0.1-2bar |
| 质量流量控制器 | 电子元器件>其它元器件 | 10.0个 | 10.0个 | BSDMFC02 | 80sccm |
| 检测系统 | 其他>其他 | 1.0个 | 1.0个 | BSDYFK100 | N2/C02 |
| 脱气器 | 电子元器件>其它元器件 | 1.0个 | 1.0个 | VD12 | 25-400度 |