北航刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体供气系统采购公告

序号

货物/服务名称

详细参数要求

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刻蚀机、镀膜设备配套工艺气体供气系统

硬件和性能参数

1. 配置给双腔高精度硅和化合物刻蚀、高能量介质刻蚀机、反应离子束刻蚀机、金属刻蚀机设备、原子层沉积设备、自动装载高通量5英寸管式炉、国产科研型镀膜、氧化退火管式炉、氧化物沉积PVD系统、金属沉积PVD系统、磁性材料沉积PVD系统，二次离子质谱仪（D-SIMS）等设备的工艺气体的部分供气系统。

2. CH2F2特气供系统，涉及气体如下：CH2F2；双瓶柜，全自动安全控制，出口三颗阀，相关二次配管。需要经过第三方的五项测试安全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。

3. BCL3与CL2/AR特气供气系统，出口七颗阀，scrubber填料，BCL3全套伴热系统。需要经过第三方的五项测试安全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。

4. 大流量O2供气系统，可以满足3用3备，半自动切换，氧气不间断供应。需要经过第三方的五项测试安全质量检测，能够满足半导体产线用工艺气体相应标准。

5. 以上配置的系统包含管道、阀门、压力表、接口、减压阀，截止阀配置的系统需符合半导体工艺气体相应纯度要求。

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售后服务

售后服务

1、供应商应具备完善的售后服务体系，供应商有固定的维护人员并有能力及时处理所有可能发生的故障。

投标单位投标时必须在投标文件中明确地提供售后服务机构或厂家、地址、电话、联系人等资料。标书代写

2、在保质期以内，投标人在接到客户的维修通知对故障能在4小时内响应，24小时内派出有能力的维修人员****维修处理（若用户提出新的要求，在招标文件的采购设备清单中特别提出）。

3、在保质期满后，投标人应保证以合理的价格提供备件和保养服务，当发生故障时，投标人应按保质期****维修处理，合理收取维修费。

4、质保期1年。

5、优先考虑具有安全生产许可证、ISO9001质量管理体系、知识产权管理体系、省部级及以上工艺企业质量信用A级及以上等级相关资质的投标人。