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真空高低温气敏探测系统
招标详情
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| 申购单主题： | 真空高低温气敏探测系统 | 申购单位： | 材料学院 | 报价类型： | 国内含税价 |
| 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2025-10-25 17:08:42 | 申购备注： |
| 真空高低温气敏探测系统 | JouleYacht | LNP-3HW | 1 | 上门安装 |
| 规格 |
| 1）S316不锈钢高真空腔体 2）温度范围：-196℃~300℃ 3）升降温速率0~30℃/min 4）温度分辨率 0.1℃，温度稳定性：± 0.5℃ 5）4个直流探针臂,探针臂XYZ轴行程：12mm*12mm，移动精度0.7um，Y轴大行程50mm粗调精度5um。 6）1路气氛探针臂，移动行程12mm*12mm，管路耐腐蚀，支持通入NH3，N2，NO2等气体，流量范围不小于10~10000 sccm。 7）配置4个三同轴接口 8）支持双通道IV测试，最大电压优于200V，最大电流优于10A,电流分辨率100fA 9）载样台材质及尺寸：紫铜镀镍，陶瓷背电极卡盘，40*40mm 10）配置高透石英观察视察窗 φ50mm 11）单筒显微镜，显微镜为连续变倍，变倍比为1：80 ，物镜变倍范围0.7X-5.6X 12）1200万像素工业相机，分辨率2*2um 13）钨钢折弯探针，10支 14）腔体直径不超过300 mm（除探针臂），高度不超过150 mm； 15）至少包含2个动态配气接口和1 个真空泵接口 16）VRD-4机械泵，极限真空度：0.5 Pa 17）兼容软件内置PID控制系统 18）配置一个800mm*1000mm的气浮防震台 19）配置一个液氮桶 20）一年质保，24小时线上售后支持响应，48小时内现场支持 |
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