自动熏蒸机采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：自动熏蒸机采购

（三）技术要求及数量

（1）数量：1台

（2）技术要求：

1.2个SMIF；具备Wafer检测Mapping功能；支持2个loadport并行跑货，智能分配。

2.设备具备气体浓度监测计。

3.设备对**式，优先选择手臂夹持对中，传送可靠性>99.7%。

4.软件需实现单独腔体屏蔽功能。

5.支持实时及Data log查询制程参数，查询时间大于1年

6.机台环境：机台内0.3um以上去除率99.99%。

7.熏蒸腔体要求：

7.1 拥有3-4个独立熏蒸工艺腔体且每个腔体可独立运行，工艺腔体运行时需保证密闭良好。

7.2 腔体尽可能尺寸做小。

7.3 工艺腔体内液面距离Wafer放置处0.5cm-1cm，且Wafer放置处须保证不发生掉落。

7.4 腔体内具备液面监测模块以及供液模块，用于实现控制熏蒸腔体内液位变化不超过±0.5cm。

7.5 熏蒸腔体需实现可视化，用于观察腔体内Wafer状态。

7.6 熏蒸腔体内具备温度监测功能，并且腔体内溶液需保持设定恒温（恒温不得使用电加热式）。

7.7 腔体取放片位置因位于腔体上半部分或选择顶端放置后使用盖子盖住的方式。

7.8 腔体内所有温度监测、液面监测和供液系统都有实时监控，且异常时能够触发机台报警。

7.9 腔体运动部件最好使用气缸。

8.设备指标要求：平均生产时间Uptime≥95%，破片率：＜1/10000，MTBF（平均故障时间间隔）：≥1000H。

9.设备电控部分在机台内，机台内需加排风。

10.支持双抛片与贴膜片正常进行工艺制程。

11.软件功能可根据需求设定和存储不同配方，调取配方后自动运行，配方内可自由编辑温度，recipe 调取后硬件参数自动匹配；生产监控：工艺参数不限于温度、浓度、熏蒸时长等，（相关工艺参数实时图表查看）

12 .设备电控气控组件需国际一流品牌。

13 .设备布线美观、整齐规范、无相互干扰、摩擦，线路标识清晰，方便维修。

14. 有控制电脑操作台，方便设备操作与调试，近距离观察可看见设备内部状态

15. 设备所有气体管路，使用PFA或者耐有机耐腐蚀材质。

16. 设备需配置自动灭火器系统。

17. 需配备高性能电脑与显示器，以满足设备功能要求为准。

18. 具备异常品提示功能，设备报警停机均需要有报警提示功能，同时显示处理方式；

19. 自动上下料功能以及手动上下料功能；

20. 具有设备通用通信协议，包含TCP/IP通讯功能，具备相关硬件和软件；

具有MES EAP通讯接入功能，供应商需免费将设备接入甲方的MES EAP上传下载数据

设备具备三色报警并带蜂鸣器，可显示报警类型及故障说明，声光报警。

21. 设备工作噪音：≤60db，最大瞬间噪音低于80Db。

22. 设备配备危险部位安全标志。

23. 设备配有紧急电源停止开关EMO，按下此开关，设备电源将被切断。

24. 设备水、电、气安装，应符合国家相关的设计安全准则，不能存在漏电、漏水、运动部件伤人等安全隐患。

25.设备有防静电功能，溶液等低闪点易燃液体输送管路需具有防静电功能，管路含碳条可导静电，安全互锁装置，具有操作员，工程师，设备管理员三层权限保护。

26.设备通电后进行IR Scan并记录温度，防止电源接头缺相，虚接。

27.设备要求按照防爆进行设计。

28.设备排风管道需加防火风阀。

29.配备漏液报警器以及自动灭火系统

30.设备顶部需有FFU洁净装置，设备内部达到百级洁净度要求，动态环境颗粒物符合百级车间标准100级@0.3μm。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明以及近三年内同类项目交付记录。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn ）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为货物的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、本次招标不接受联合体投标。

3、参与企业注册资金需≥100万元。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）截止时间：2025-11-7 17:30标书代写

（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料（报名资料包括：特定资格要求、投标人营业执照、“信用中国”查询无不良记录截图、合同证明、授权委托书）盖章扫描发送至邮箱：****@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****@gst-ir.com

四、联系事项

商务联系人：肖鑫 电话：192****0702

技术联系人：黄希光 电话：159****4768

五、监督、投诉渠道

1、审计监察部：

邮箱：****@gst-ir.com

网络举报二维码：

2、党委办公室：

电话：027-****8226

邮箱：****@163.com

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2025年10月30日