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多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺
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1900000.00
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***********公司企业信息
****2025年11至1月政府采购意向-多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺 详细情况
| 多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年11至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
C****1300电子、通信与自动控制技术研究服务
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| 采购需求概况 ： |
多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺，先按照要求交替生长SiN和OX，按照设计进行深孔工艺，并生长多晶硅作为沟道。 1. 提供设计晶圆，12英寸。 2. 按照要求加工，完成SiN和OX的堆叠。 3. 按照设计进行深孔刻蚀。 4. 填充 poly Si 作为沟道。
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| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2025-10-31
招标预告
多层WL沟道孔刻蚀以及填充工艺
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