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| 全自动氩气净化机 | 台 | 2 | 净化能力:能除去氩气中杂质氧气、水、氮气等杂质成份、输出氩气纯度达到99.999%以上、处理气量达到(4~15)NM^3/h以上、具备合金吸附剂能吸附除去氩气剩余的氮气等惰性杂质、双式结构、自动再生;净化气体种类:氩气;技术附件:参考PKA-4NZ型全自动氩气净化机 技术协议;执行标准: |
| 超纯水机 | 台 | 2 | 型号规格:Eco-S30;技术附件:具体参照超纯水机技术协议;执行标准: |