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发布日期:2025-11-03
项目概况
| 项目名称 | 光子晶体激光器委托加工 | 项目编号 | **** |
| 开始时间 | 2025-11-03 11:53 | 结束时间 | 2025-11-08 11:53 |
| 供应商资格要求 | 参照《****政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 | 预算金额(元) | 250000.00 |
| 采购方式 | 竞价 | ||
采购服务信息列表
| 1 | 光子晶体激光器委托加工 | 5 | 片 | 50000 | ||
| 技术参数 | 光子晶体激光器(2寸)整体制备的工艺技术参数要求:1.Hard mask:根据实验实际情况确定厚度;2.临时键合在8寸衬底上;3.DUV光刻:约190nm CD 图形(可根据实际调整);4.Hark mask刻蚀图形化:约190nm CD 图形(可根据实际调整);5.InP基材料外延:立柱状,p型,多量子阱,n型等材料外延;6.流片工艺,永久键合:根据版图,商议确定具体工艺路线和指标(旋涂PMMA介质,PECVD 激光出光面开口,金属化) | |||||
| 相关材料 | 光子晶体激光器委托加工项目技术指标.docx | |||||