高真空磁控溅射薄膜沉积系统

发布时间: 2025年11月03日
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****2025年12月政府采购意向-高真空磁控溅射薄膜沉积系统 详细情况
高真空磁控溅射薄膜沉积系统
项目所在采购意向: ****2025年12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 高真空磁控溅射薄膜沉积系统
预算金额: 130.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0503工艺试验机
采购需求概况 :
采购标的名称:高真空磁控溅射薄膜沉积系统 主要功能 / 目标:支撑高校材料、物理、电子专业教学实验(如 “薄膜制备原理” 课程实践)与科研课题,实现金属、合金、陶瓷等单层 / 多层薄膜沉积;具备 2-4 靶位切换、nm 级膜厚精准调控(精度 ±5%)、室温 - 600℃基底温控功能,满足导电、光学、磁性薄膜制备需求。 采购数量:1 台 核心要求: 质量:极限真空度≤1×10-5Pa,沉积速率 0.1-10nm/min 可调,真空腔体用 316L 不锈钢,连续运行 72 小时无故障; 服务:到货后 15 个工作日内完**装调试,提供师生专项培训,质保期 1 年(核心部件 2 年),故障 48 小时内响应; 安全:符合 GB 4793.1 电气安全标准,具备真空异常、过温自动保护; 时限:合同签订后 30 日内到货。
预计采购时间: 2025-12
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2025-11-03
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