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近空间升华炉—简易款
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1(台)
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80000
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**弗莱尔
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FLR-JK800J
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1.工作真空度: ≤10Pa 2.真空泵种类: VRD-4直联旋片式机械泵 3.漏率:≤5E-4(Pa* m3/s) 4.真空计:薄膜真空计 5.气压平衡控制:压力可单独设置并自动维持,波动范围≤2% 6.加热方式:灯管红外加热 7.最高温度:800℃ 8.升温速率:≥50℃/s(空炉) 9.降温速率:可控降温(软件自动控制);自然冷却(移走加热炉膛) 10.温控精度:≤±1℃ 11.温控方式:上下独立控温 12.基板尺寸:3*3inch 13.温控系统:可实现精确自动控温,12段升降温程序,预存100条以上曲线 14.测温方式:K型铠装热电偶(直径1.5mm) 15.控温点:2个(上下石墨板) 16.恒温区:100mm(处理1片3inch×3inch基板) 17.恒温区均匀性:±2℃ 18.工艺气氛:Ar、N2 19.气路控制:两路质量流量计0-1000sccm 20.样品冷却:炉膛自动移开,强制风冷 21.控制界面:7英寸触摸屏 22.控制方式:半自动控制 23.曲线显示: 设定温度、实际温度、真空度均可实时描绘 24.历史记录:温度、压力等,可U盘导出 25.冷水机:CW5200-AH 26.整机功率:380V,15KW 27.外形尺寸:1200*650*1260mm
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1、供应商投标时必须提供所报设备的品牌和型号(品牌和型号均需提供),如不填写视为不满足;2、所有设备要求免费送货上门、免费安装调试、保修期内免费上门保修;3、设备必须原厂包装,必须当用户面拆封;4、原则上不接受物流和快递送货。如采用物流和快递送货的必须在报价说明中注明,申购用户认可的,方可成交;5、其他按行业标准提供服务;
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