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高性能激光器项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0100MA2KHKED1N | 建设单位法人：KIMURA TAMOTSU |
| 王浪 | 建设单位所在行政区划：**省**市钱塘新区 |
| **省**市钱塘新区河庄街道青西二路1099号综合楼602-69号 |
建设项目基本信息
| 高性能激光器项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3973-C3973-集成电路制造 |
| 建设地点： | **省**市钱塘新区 钱塘区东围路599号 |
| 经度:120.48019 纬度: 30.35622 | ****机关：****环境局钱塘分局 |
| 环评批复时间： | 2025-08-07 |
| 杭环钱评批〔2025〕72号 | 本工程排污许可证编号：****0100MA2KHKED1N001X |
| 2025-08-13 | 项目实际总投资(万元)：85000 |
| 500 | 运营单位名称：**** |
| ****0100MA2KHKED1N | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| 913********257919L | 验收监测单位：******公司 |
| ****0114MA2KL9Q2X3 | 竣工时间：2025-08-15 |
| 2025-08-15 | 调试结束时间：2025-11-14 |
| 2025-09-24 | 验收报告公开结束时间：2025-10-29 |
| 验收报告公开载体： | http://www.****.cn/nd.jsp?id=1415 |
2、工程变动信息
项目性质
| ** | 实际建设情况：** |
| 不涉及 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年产1000万颗高速激光器芯片 | 实际建设情况：年产1000万颗高速激光器芯片 |
| 不涉及 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 清洗，光刻，干法刻蚀，湿法刻蚀，退火，SiO2沉积，Si3N4沉积，蒸镀，玻璃，退火，背面减薄，裂片成粒，测试等工序 | 实际建设情况：清洗，光刻，干法刻蚀，湿法刻蚀，退火，SiO2沉积，Si3N4沉积，蒸镀，玻璃，退火，背面减薄，裂片成粒，测试等工序 |
| 不涉及 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 废水： 生产废水采用分质分类收集处理：其中一般酸性废水进入酸性废水预处理系统（采用酸碱中和+混凝沉淀处理）；含氟酸洗废水、酸性废气洗涤塔废水、干法蚀刻废气水洗塔废水进入含氟废水预处理系统（采用氢氧化钙+氯化钙两级化学沉淀+进综合废水处理系统）进行处理；含磷废水、有机废水、切割清洗废水、沉积废气电热水洗装置废水、有机废气水洗塔装置废水等进入综合废水预处理系统（采用化学中和+混凝沉淀+pH回调）进行处理；生产废水处理设施处理设计处理能力90m3/d；②生活污水依托出租方化粪池处理。 废气 外延废气：经密闭设备管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（采用二级干式吸附工艺，吸附介质为表面附着金属氧化物的活性炭）处理后引至楼顶，通过1根30m排气筒排放。 酸洗、湿法蚀刻、干法蚀刻、沉积废气：①干法蚀刻机密闭，蚀刻废气经管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（水洗工艺）预处理后，引至楼顶，并入酸性废气处理；②沉积设备密闭，沉积废气经管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（电热+水洗工艺）预处理后，引至楼顶，并入酸性废气；③收集的废气一并进二级碱液喷淋处理后通过1根35m排气筒排放。 光刻、溶剂清洗有机废气：废气经操作间或通风橱抽风口集气收集后，引至建筑物楼顶，进1套有机废气装置（水喷淋+除雾器+活性炭吸附）处理后通过1根35m排气筒排放。 一般废气：车间内未被收集进废气处理装置的无组织废气经整体车间空调新风系统收集后，经风管引至楼顶由1根30m排气筒排放。 噪声：采取减振、消声、隔声等降噪措施。 固废：废衬片、废次品、废金属箔、废靶材由专业厂家回收综合利用；一般废包****公司回收再利用；纯水制备废物由生产厂商定期更换回收；测试废液、废化学品容器、废酸液、含氟废液、废显影液、废有机溶剂（废丙酮、异丙醇、乙醇以及其他废有机溶剂）、研磨废液、含砷废吸附材料、废活性炭、废机油、废抹布/手套委托有相应资质的单位处置。 | 实际建设情况：废水 生产废水按一般酸性废水、含氟废水以及其他综合废水进行分质分类收集预处理； 其中一般酸性废水进入酸性废水预处理系统（采用酸碱中和+混凝沉淀）； 含氟酸洗废水、酸性废气洗涤塔废水、干法蚀刻废气水洗塔废水进入含氟废水预处理系统（采用氢氧化钙+氯化钙两级化学沉淀+进综合废水处理系统）进行处理； 含磷废水、有机废水、切割清洗废水、沉积废气电热水洗装置废水、有机废气水洗塔装置废水等进入含综合废水预处理系统（采用酸碱中和+混凝沉淀+pH回调）进行处理，废水经分质处理达标后纳管排放。生产废水处理设施处理设计处理能力100m3/d（包括酸性废水预处理系统25m3/d、含氟废水预处理系统25m3/d以及综合废水处理系统50m3/d）； 生活污水经化粪池处理后纳管排放。 废气 外延废气：设备密闭管道收集后经本地POU尾气处理装置（二级干式吸附工艺）处理后引至楼顶，通过1根30m排气筒排放。 酸洗、湿法蚀刻、干法蚀刻、沉积废气：①干法蚀刻机密闭，蚀刻废气经管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（水洗工艺）预处理后，引至楼顶，并入酸性废气处理；②沉积设备密闭，沉积废气经管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（电热+水洗工艺）预处理后，引至楼顶，并入酸性废气；③收集的酸性废气并进二级碱液喷淋处理后通过1根35m排气筒排放。 光刻、溶剂清洗有机废气：经操作间或通风橱抽风集气收集，进1套有机废气装置（水喷淋+除雾器+活性炭吸附）处理后通过1根35m排气筒排放。 一般废气：车间内未被收集进废气处理装置的无组织废气经整体车间空调新风系统收集后引至楼顶由1根30m排气筒排放。 噪声： 选用低噪声设备；对风机、水泵、空压机等高噪声设备采取减振、消声等降噪措施，加强生产运行管理。 固废 废衬片、废次品、废金属箔、废靶材由专业厂家回收综合利用；一般废包****公司回收再利用；纯水制备废物由生产厂商定期更换回收；测试废液、废化学品容器、废酸液、含氟废液、废显影液、废有机溶剂（废丙酮、异丙醇、乙醇以及其他废有机溶剂）、研磨废液、含砷废吸附材料、废活性炭、废机油、废抹布/手套委托****处置。 |
| 不涉及 | 是否属于重大变动：|
其他
| 无 | 实际建设情况：无 |
| 不涉及 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 1.7105 | 2.0782 | 0 | 0 | 1.71 | 1.71 | |
| 0 | 0.855 | 1.039 | 0 | 1.039 | 0.855 | -0.184 | |
| 0 | 0.086 | 0.104 | 0 | 0.104 | 0.086 | -0.018 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.276 | 0.741 | 0 | 0.741 | 0.276 | -0.465 | / |
| 0 | 0.014 | 0.014 | 0 | 0.014 | 0.014 | 0 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 酸性废水预处理系统、含氟废水预处理系统、综合废水预处理系统 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020) | 包括酸性废水预处理系统25m3/d、含氟废水预处理系统25m3/d以及综合废水处理系统50m3/d | 一般酸性废水收集池、含氟废水收集池、综合废水收集池原水的pH值、氟化物、悬浮物、化学需氧量、氨氮、总氮、总磷的初始浓度均较低；其中砷（总）未检出，满足《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1中“车间或生产设施废水排放口”水污染物排放限值 。 生产废水总排放口各污染物均可达《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）表1水污染物排放限值，其中氨氮可达《工业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）间接排放标准浓度限值要求。 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 外延废气处理装置：本地POU尾气处理装置（二级干式吸附工艺） | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015） | 外延废气处理装置：本地POU尾气处理装置（二级干式吸附工艺） | DA001外延废气排放口的颗粒物、砷化氢、磷化氢均未检出，颗粒物的排放速率和排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2中的二级标准限值，砷化氢、磷化氢的排放速率和排放浓度均满足《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中“表1大气污染物项目排放限值”和“附录A固定源大气污染物名录及有组织排放限值。 | |
| 2 | 本地POU尾气处理装置+二级碱液喷淋 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015） | ①干法蚀刻机密闭，蚀刻废气经管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（水洗工艺）预处理后，引至楼顶，并入酸性废气处理；②沉积设备密闭，沉积废气经管道收集后，通过本地POU尾气处理装置（电热+水洗工艺）预处理后，引至楼顶，并入酸性废气处理；③与收集的一般酸性废气一并经二级碱液喷淋处理后通过1根35m排气筒排放。 | DA002酸性废气、干法蚀刻废气、沉积废气排放口的硫酸雾、氯化氢、氟化物、NOX、氯气的排放速率和排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级排放限值要求；溴化氢排放速率和排放浓度满足《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中“表1大气污染物项目排放限值”和“附录A固定源大气污染物名录及有组织排放限值”；氨、臭气浓度满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准限值 | |
| 3 | “水喷淋+除雾器+活性炭吸附” | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015） | 光刻、溶剂清洗有机废气：经操作间或通风橱抽风集气收集，进1套有机废气装置（水喷淋+除雾器+活性炭吸附）处理后通过1根35m排气筒排放。 | DA003有机废气排放口的甲醇、非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级排放限值要求；丙酮、异丙醇、DMF的排放浓度均满足《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中“表1大气污染物项目排放限值”和“附录A固定源大气污染物名录及有组织排放限值”。 | |
| 4 | 一般废气排放口 | 《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015） | 车间内未被收集进废气处理装置的无组织废气经整体车间空调新风系统收集后引至楼顶由1根30m排气筒排放 | DA004一般废气排放口的氟化物、氯化氢、硫酸雾、非甲烷总烃、甲醇的排放速率和排放浓度满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中的二级排放限值要求；溴化氢排放速率和排放浓度以及丙酮、异丙醇、DMF的排放浓度满足《**大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）中“表1大气污染物项目排放限值”和“附录A固定源大气污染物名录及有组织排放限值”。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 减振、隔声，加强生产管理 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类 | 废气处理设施选用变频低噪声风机，设备采取了安装隔声罩及基础减振等减噪措施 | 监测期间企业四侧厂界昼、夜间噪声监测值均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的3类标准 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 占地面积约50m2危废仓库 | 按规范建有危废仓库2间（占地分别为25m2，1间用于废液类危废暂存，1间用于固态危废暂存），危废仓库地面已进行防渗硬化处理，设有分类标识标牌、危险废物标志牌并配门锁，液态危废均采用防漏托盘+四周设截留沟槽的防渗漏设计，用于泄漏液体的收集。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | ①危险化学品贮存、使用、运输过程中做好安全防范措施；②做好分区防渗、防腐措施；③氯气、磷化氢、砷化氢钢瓶存放区域设置应急排风，车间内设置有毒有害气体在线监控系统及紧急切断按钮；④加强末端处理设施的管理，确保废气、废水处理设施的正常运转；⑤编制突发环境事件应急预案，配置相应的应急物资和设施。 | 按照规范设有甲类仓库和特气间，其中甲类仓库用于存放酸碱试剂、有机试剂等化学品，特气间存放毒性气体、易燃易爆气体等等。甲类仓库和特气间均装设有可燃气体报警探头；特种气体置于专用的特气柜内，特气柜装有应急排风装置和泄漏报警装置，确保泄漏事故的安全处置。 ****救援队伍，储备有一定数量的应急设施和物资，在甲类仓库旁建设有1个事故应急池，建立了环境风险管理制度和安全隐患定期排查制度。 企业已编制了突发环境事件应急预案并完成备案（备案号：330114-2025-111-L）。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
400-688-2000
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