逯瑶课题组高真空磁控溅射镀膜设备采购成交公告

是否接受进口

拒绝进口

品牌

嘉硕真空

型号

JSD300

生产厂商

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产地信息

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技术规格及参数

所响应产品必须是全新、未使用过的原装合格正品（包括零部件），如安装或配置了软件的，须为正版软件。1.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ500×H450 mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ99mm，配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304不锈钢材质；2真空系统：主泵分子泵抽速不小于2000 m3/ h，前级泵抽速不小于30 m3/ h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa；3.真空极限：优于2.3×10-7 Torr；4.抽速：抽至4.0×10-6 Torr≤20min；5.基片台：基片台，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：PID智能温控表，控温范围室温～400℃；6.溅射靶及电源：不少于2只圆形平面靶，靶面尺寸不小于φ60 mm，可调整角度不小于±50°，可单靶轮流/双靶聚焦共溅射；直流电源不少于1台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，频率13.56 MHz，要求自动匹配；配-800V偏压电源，可实现等离子体清洗功能；7.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封；8.气路系统：不少于两路工艺气体MF C控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；氩气准确度优于±1.5sccm；其他工艺气体准确度优于±1sccm；9.操控系统：PL C+触摸屏手自一体操控系统，真空系统的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；10.辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于1P。

质保期

质保2年

售后要求

基础服务：包括设备安装调试、维修保养、技术支持及操作培训，需确保设备稳定运行并**使用寿命。 响应时效：一般要求24小时内响应服务请求，重大问题需48小时内解决。 专业能力：售后服务团队需具备技术资质，定期接受培训以保障服务质量。