电子束曝光代工服务(WLU-FW-KS-NM-2025-1296)延期公告

发布时间: 2025年11月06日
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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
电子束曝光代工服务****
2025-11-03 10:13:442025-11-11 11:00:00
****合同签订后预付70%的款项,代工服务完成后,乙方向甲方提供全额增值税发票,甲方在收到全额增值税发票后【30】日内付清尾款。
¥310000.00

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
电子束曝光代工服务 1
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 310000.00
1.电子束曝光代加工服务的总机时为200小时; 2.电压具备100KV,设备分辨率小于50nm; 3.可以作业4英寸及其他不规则小片,可提供4寸晶圆规模套刻电子束曝光,套刻精度20 nm以内; 4.具备涂胶显影、sem测试能力; 5.最小线宽精度≤50 nm; 6.最大曝光面积≥15 mm×15 mm。

招标进度跟踪
2025-11-06
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