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| 聚焦离子束电子束双束显微镜 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年11月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 聚焦离子束电子束双束显微镜 |
| 预算金额: | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0305
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| 采购需求概况 : |
拟采购一台聚焦离子束电子束双束显微镜,主要用于HEPS实验线站进行先进材料样品和光学元件的高精度微加工,并表征样品的表面微观结构;主要部件和技术参数如下:1.离子光学系统 1.1离子源:液态镓离子源; 1.2分辨率:≤3 nm @ 30 kV; 1.3探针电流:1 pA~100 nA; 1.4加速电压:500 V~35 kV; 2.电子光学系统 2.1电子枪:肖特基场发射电子枪; 2.2分辨率:≤0.9 nm@15kV, ≤****@1.0kV; 2.3加速电压范围:20 V~35 kV
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| 预计采购时间: | 2025-11 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写