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气浮式移动探针测试平台
招标详情
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***********公司企业信息
竞价结果详细（****）
| 申购单主题： | 气浮式移动探针测试平台 | 申购单位： | **** | 申购人： | 朱祥维 |
| 报价类型： | 国内含税价 | 使用币种： | 人民币 | 公示时间： | 2025-10-28 04:53:51 |
| 申购备注： | |||||
| 设备名称 | 品牌/厂商 | 型号 | 数量 | 售后服务 | ||
| 气浮式移动探针测试平台 | 深****公司 | MT-150A | 1 | 售后服务要求：原厂工程师上门安装调试培训，中标供应商必须提供原厂保修，收货时由用户向生产商确认该产品为国内销售行货；如供应商提供的产品不是国内销售行货，用户有权退货，否则拒签货物做退选处理。 | ||
| 规格 | ||||||
| ●包含显微镜重量约70公斤左右 ●本体尺寸: 约535mm长*635mm宽*600mm高 ●6" 卡盘，采用中心真空吸附孔和多圈真空吸附环固定样品，每个真空通道均独立控制 ●****中心吸附孔为0.5mm直径，直径约155mm ●气浮型卡盘移动控制技术，卡盘X-Y气浮快速移动总行程150mm*150mm ●卡盘带精密微分尺调节，X-Y精调行程25mm-25m，移动精度优于2 μm ●卡盘平整度：10μm,卡盘可以360度无间隙旋转，带有角度锁死装置 ●卡盘角度可旋转微调+-8°，调节精度0.1° ●卡盘微调升降，行程9mm，精度约1微米 ●环形真空吸附卡盘，镀镍，同轴屏蔽低漏电设计，带shield屏蔽 ●Chuck可做同轴背面电极 ●卡盘Top plate和Ground层最大耐压：约500 V DC ●Chuck电信测试精度：同轴线缆连接卡盘，10pA/V @25℃，测试环境：将探针台放在 屏蔽箱内，干燥环境（空气露点低于-40℃） ●针座平台，最多可放置8个DC针座或4个射频针座 ●针座平台Z向微调升降最大行程19mm，微调移动精度≤5 μm，重复定位精度优于1μm，带锁定功能，带数显千分尺，上升高度实时显示 ●针座平台带3档快速升降位置调节（三级抬杆），分别是0（探针接触），300 μm（探针脱离），3 mm（装载样品），带自锁功能 ●可调节显微镜在 X-Y 平面2" x 2" 范围内移动，精度1微米（系统不包含显微镜） ●显微镜气动升降50mm，便于更换物镜（需要压缩空气） ●气路互锁 样品保护功能1：抬杆处于初始0位置，探针接触样品时，气浮开关气路无法打开，样品台无法快速移动；抬杆处于300μm或3mm 位置，探针脱离样品（探针悬停）时，气浮开关气路可以打开，样品台可快速移动定位●气路互锁 样品保护功能2：抬杆处于初始0位置，探针接触样品时，气浮开关气路无法打开，显微镜无法气动上升；抬杆处于300μm或3mm 位置，探针脱离样品（探针悬停）时，气浮开关气路可以打开，显微镜可以气动上升或者下降，防止显微镜动作造成探针台微小振动 ●可选配升级3000 | ||||||
| 中标供应商 | 单价（元） | 初选理由 |
| **** | 177990 | 最低价原则 |
招标进度跟踪
2025-11-07
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