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| ********学院激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | ********学院激光直写光刻机 |
| 预算金额: | 105.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0309-激光仪器
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| 采购需求概况 : |
计划采购激光直写光刻机一套,用于微纳电子器件光刻加工,制造相关电子器件主要应用于微纳生物传感和脑机接口等应用方向,为教学和科研中微纳电子器件制备提供重要制造平台支撑。性能要求:线宽1微米,最大直写面积150*150mm,光源为405nm和375nm, 电动物镜切换(时间300ms),重复定位精度400nm;
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| 预计采购时间: | 2025-12 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写