山地智能农机装备项目之显微镜与研磨仪采购

单盘化学机械研磨设备
项目所在采购意向： ****2024年11至12月政府采购意向
采购单位： ****
采购项目名称： 单盘化学机械研磨设备
预算金额： 280.000000万元(人民币)
采购品目：
A****3202研磨机
采购需求概况 ：
1.采购名称：单盘化学机械研磨设备2.采购标的需实现的主要功能或目标：(1) 设备主要用于集成电路制造过程中晶圆表面复杂凸起图形的高精度平坦化。是制备纳米级电路的核心工艺设备。(2) 用于八英寸晶圆表面二氧化硅、硅等材料的去除工艺；干进湿出，可实现按需求自动抛光的功能。 (3) 每个研磨单元配一个研磨头、一个研磨盘、一个研磨液供液手臂和一个修整器。每个磨盘均需要配有终点检测模块：Friction EPD（摩擦力终点检测模块）可实现对介质是否去除完全的判断功能。研磨单元里的每个部件都有保湿结构，防止研磨液结晶。(4) 设备中重要参数可由设备自带软件实时自动采集数据，例如转速、压力、抛光液流量等；软件能实时监控设备状态，有日志记录（日志记录频次≦1s/次），报警等功能系统。(5) 可实现8寸晶圆SiO2去除速率≥350nm/min；片内去除率均匀性：<5%；片间去除率均匀性：<3%；SiO2抛光后表面粗糙度：Ra<0.5nm（去边5mm，测49点）(6)设备配备研磨液供应系统；3、采购数量：1套；4.采购标的需满足的质量、安全等要求：符合国际标准，具备必要的安全认证；5.服务要求：（1）提供厂家授权书和售后服务承诺书，质保期内设备发生故障，供货方在4小时内对采购人的服务要求做出响应，接到采购人维修通知后2个工作日内必须到达现场；（2）质保期为一年，质量问题由供方承担所有费用；（3）配备符合要求的电脑及操作系统；（4）提供免费送货、安装调试及定期维护，质保期外，需提供永久的保障性服务，以保障设备的正常使用；（5）统一供应商供应，禁止零散采购。（6）设备出机需搭配验机所需耗材（研磨液15L以上，研磨垫及修整盘1套以上）；6.供货时限：签订合同后3个月内；7.其他：技术交流联系人及电话：张老师，198****3593
预计采购时间： 2024-12