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| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 | |||
| 高真空离子溅射仪 | Supro | ISC150T | 1 | 国内含税价/人民币 | |||
| 售后服务 | 质量保证 一年免费/终身维护 | ||||||
| 规格 | 1、****501219 ISC15OT主机 1台 2、内置进口品牌分子泵 1套 3、内置进口品牌隔膜泵 1套 4、高硼硅玻璃腔体 1个 5、可调整高度固定样品台 1个 真空泵组 进口品牌无油干泵+分子泵组 泵组抽速 >0.7m3/h隔膜泵+60L/S分子泵 极限真空 <10E-3 Pa 工作气压 0.5-2 Pa 抽空时间 <5 Min 真空测量 测量范围大气压到10E-3Pa,进口品牌真空计 气体控制 MFC气体质量流量控制器(5OSCCMAr) 腔室尺寸 ~0150*110mm耐划伤石英玻璃 磁控靶源 靶材尺寸050*0.1-3mm(建议厚度>0.2mm)/带手动挡板 可溅射贵金属Au/Pt等,也可溅射Cr、W、Ag等常规金属(通Ar气) 溅射电源 恒功率磁控DC溅射电源Max.30W,Max.100mA 溅射时间 可程序设定 操作方式 触摸屏控制 重量尺寸 ~30Kg/500mm宽*400 mm深*470 mm高 输入电源 110-220VAC,50/60Hz接地三脚插头 输入功耗 <500W 冷却方式 风冷 6、 自动旋转偏转样品台 1套 主要功能 公自转旋转-倾斜可调旋转样品台 控制方式 旋钮 转台直径 ~75 mm 公转速度 10-60 RPM 行星台尺寸 兼容10-25mm标准电镜样品座 行星台转速 0.75*公转速度 偏转角度 -40度至+40度 转台高度调整范围 0-20 mm 显示参数 OLED屏,自动显示转速及偏转角度 电源接口 Type-C,5VDC供电 电源功率 5W 整体重量 2Kg | ||||||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | |||||
| **** | 170000 | 最低价原则 | |||||