陶瓷吸盘和光罩版采购(A-WZBX1236)采购公告

发布时间: 2025年11月11日
摘要信息
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相关单位:
***********公司企业信息
项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
陶瓷吸盘和光罩版采购****
2025-11-11 14:51:032025-11-14 16:00:00
****
签约后30个工作日内
¥580000.00
******校区能源材料大楼1号楼

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
光罩版 1
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 300000.00
1套5块光罩版,具体参数如下: 1、R2205HCD,用于分辨率、焦深、coma慧差的测试标准; 2、R2205HDIS,用于镜头畸变、掩膜旋转的测试标准; 3、R2205HB,用于掩膜挡板设置精度、调焦精度、正交性、二次预对准精度、镜头倍率的测试标准; 4、R2205HMF,用于TFD、场曲、像散、焦距稳定性的测试标准; 5、R2209HA,用于LSA FIA套刻精度、stage步进精度的测试标准。
商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

采购清单2
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
陶瓷吸盘 1
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 280000.00
兼容4、6英寸片源,硅片预对准精度≤15um,且保证在关闭二次预对准后,仅通过一次预对准,测晶圆预对准重复性3sigma≤30um; 不影响分辨率、****机关键指标性参数; 平坦度要求≤1um,超平片测试≤3um。
商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训;

附件下载:标书代写厦大内贸合同.doc
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2025-11-11
招标公告
陶瓷吸盘和光罩版采购(A-WZBX1236)采购公告
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