招标详情
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400-688-2000
项目名称
| 陶瓷吸盘和光罩版采购 | 项目编号
**** |
公告开始日期
| 2025-11-11 14:51:03 | 公告截止日期
2025-11-14 16:00:00 |
采购单位
| **** | 付款方式
|
联系人
| 联系电话
|
签约时间要求
| 到货时间要求
签约后30个工作日内 |
预算总价
| ¥580000.00 |
发票要求
|
含税要求
|
送货要求
|
安装要求
|
收货地址
| ******校区能源材料大楼1号楼 |
供应商资质要求
| 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件 |
公告说明
|
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 光罩版 |
1 |
套 |
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品牌
|
型号
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预算单价
| ¥ 300000.00 |
技术参数及配置要求
| 1套5块光罩版,具体参数如下: 1、R2205HCD,用于分辨率、焦深、coma慧差的测试标准; 2、R2205HDIS,用于镜头畸变、掩膜旋转的测试标准; 3、R2205HB,用于掩膜挡板设置精度、调焦精度、正交性、二次预对准精度、镜头倍率的测试标准; 4、R2205HMF,用于TFD、场曲、像散、焦距稳定性的测试标准; 5、R2209HA,用于LSA FIA套刻精度、stage步进精度的测试标准。 |
参考链接
|
售后服务
| 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
| 陶瓷吸盘 |
1 |
个 |
|
品牌
|
型号
|
预算单价
| ¥ 280000.00 |
技术参数及配置要求
| 兼容4、6英寸片源,硅片预对准精度≤15um,且保证在关闭二次预对准后,仅通过一次预对准,测晶圆预对准重复性3sigma≤30um; 不影响分辨率、****机关键指标性参数; 平坦度要求≤1um,超平片测试≤3um。 |
参考链接
|
售后服务
| 商品承诺:送货上门/安装调试/技术培训; |
附件(2)
厦大内贸合同.doc下载预览
厦门大学进口货物采购合同(2025年修订版).docx下载预览