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氧化镓单晶生长VB炉
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1950000.00
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***********公司企业信息
****2025年12月政府采购意向-氧化镓单晶生长VB炉 详细情况
| 氧化镓单晶生长VB炉 | |
| 项目所在采购意向： | ****2025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 氧化镓单晶生长VB炉 |
| 预算金额： | 195.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****9900其他非金属矿物制品工业设备
|
| 采购需求概况 ： |
氧化镓单晶生长VB炉，1台，需满足如下主要功能和目标：1、 生长氧化镓单晶尺寸：≥6寸；2、 生长温度：1820℃；3、 加热器：电阻加热；4、 加热器数量：≥2组；5、 坩埚底部：显示实时温度；6、 坩埚升降：最低升降速率5mm/天，最高升降速率800mm/min；7、 坩埚旋转：1-50转/min；8、 工艺腔室：不锈钢；9、 真空度：≤10Pa；10、 气体：02，Ar，CO；11、 控制系统：PC+PLC，双保险系统；12、 生长过程：一键启动，全自动化；13、 工艺验证：完成2寸单晶 。
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| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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