超导腔磁控溅射镀膜系统

发布时间: 2025年11月11日
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****2025年11至12月政府采购意向-超导腔磁控溅射镀膜系统 详细情况
超导腔磁控溅射镀膜系统
项目所在采购意向: ****2025年11至12月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 超导腔磁控溅射镀膜系统
预算金额: 120.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2402真空应用设备
采购需求概况 :
采购名称:超导腔磁控溅射镀膜系统 实现功能:满足在1.3GHz单cell铜腔以及650MHz单cell铜腔内壁进行镀膜,且保证在腔体束管、iris、赤道等部分,获得具有良好均匀性、致密性、结合力的膜层。 采购数量:本次拟采购设备总数量为1套 指标要求:(待镀工件)加热温度≥250℃,本底真空度1.0×10-5Pa(加热烘烤后),漏率≤5.0×10-9mbar﹒l/s ,直流电源500w , Hipims电源(峰值功率)1KW、Hipims电源(峰值功率)300KW、偏压电源100V、柱状磁控阴极靶。 质量要求:要求厂家有相关机械加工设备及经验,具备完整的质量管理体系。 服务及安全:质保期1年,发生质量问题时需4h内及时响应,质保期内须满足上门维修或返修条件;质保期外仅收材料及成本费用。产品存储须保持洁净,产品运输保障稳固及安全。 时限:产品交货期限为合同签订后4个月内,如甲方需要可提前分批发货。
预计采购时间: 2025-11
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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