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| 驱动低温等离子体的RF电源系统采购-射频电源/自动匹配器 | 1.0/套 | 25000.0 | 瑞思杰尔 | RSG500S/PSG-IAS | 产品质量要求、技术指标 A:射频电源: 1、 射频电源输出功率:连续波/脉冲,可满功率500W,1~100%连续可调功率输出可精确到瓦。 2、 功率输出稳定度不超过设定功率的±0.5%。 3、 射频电源工作频率:13.56 MHz,脉冲频率100-30KHz。 4、 控制方式:本控/外控(模拟量、485)。 5、 功率指示:射频源功率输出指示,反射功率指示。 6、 报警指示:电源指示,正常指示,故障报警(过热过流及驻波报警)指示均使用LED显示。 7、 谐波输出小于50dB,射频电源冷却方式:风冷 8、 输出阻抗及接口:标准负载(50Ω),使用标准同轴接头,配备软电缆 9、 AC电源:220V±15V,50Hz。 10、射频电源核心部件:采用进口晶体管,**命24小时使用。 B:自动匹配器 1、 阻抗匹配范围:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω。 2、 射频反射功率(最大正向功率输出时):Pf≤10W。 3、 自动匹配时间:1—8秒。连续工作时间:24小时。 4、 射频输入/输出连接器:铜排,50Ω,阴性。 5、 使用环境温度:0—60℃。相对湿度<85%。 6、 AC电源:AC220V±15%,50/60Hz。 | 按国家规定行业标准提供服务 |