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福建恒申电子材料科技有限公司电子级特种气体项目（三期）阶段性竣工环保验收

审批

福建-福州-连江县

发布时间： 2025年11月14日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0122MA353DRM0Q	陈忠
司剑超	******县
省**工业园区松岐大道1号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****电子级特种气体项目（三期）阶段性竣工环保验收	****

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	****县 ****县
经度:119.728889 纬度: 26.342222	****环境局
	2025-01-21
榕环评〔2025〕1号	913********297284K002V
	49291.76
1040	****
****0122MA353DRM0Q	****研究院
123********097466X	市**公司
913********207082D	2025-03-31

2025-10-11	2025-11-07
	https://www.****.com/gs/detail/2?id=51011ohrP2

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改扩建	改扩建
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

新增生产能力(或使用功能):超纯氨9900吨/年、工业氨100吨/年、氨水4160吨/年，氢气(中间产品)92.3吨/年、氮气(中间产品)330.4吨/年、各种纯气5088.9吨/ 年，磷烷混配气(以磷烷计)120吨/年、砷烷混配气(以砷烷计)60吨/年，氟气(中间产品)62.2吨/年、其他各种混配气 51.9吨/年；副产品：氢氟酸13.5吨/年，硫酸铵溶液8.089 吨 / 年。	①超纯氨9900吨/年，工业氨100吨/年，氨水4160吨/年；硫酸铵溶液（副产品）8.089吨/年；②超纯氢气(作为磷烷、砷烷混配气原料)92.3吨/年；超纯氮气其中作为磷烷混配、砷烷混配气原料116.8吨/年，作为氟氮混配气、激光气混配气原料213.6吨/年；剩余超纯氢气260.5吨/年和超纯氮气4672.1吨/年外售；③磷烷混配气(磷烷混氢、磷烷混氮、磷烷混氦、磷烷混氩)其中磷烷含量120吨/年；砷烷混配气(砷烷混氢、砷烷混氮、砷烷混氦、砷烷混氩)其中砷烷含量60吨/年。
本次验收为阶段性验收，其余建设内容将陆续建成

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1.超纯氨生产工艺流程（1）升温原料液氨从申远的1、2、4***园区管道直接输送到超纯氨装置进料缓冲罐。再利用两台原料氨泵输送至脱重塔冷凝器，原料液氨温度为-28℃，脱重塔冷凝器冷媒采用原料液氨，冷却脱重塔塔顶采出的低沸点组分，同时将原料液氨的温度升高到约40℃。原料液氨通过管道进入气化器。（2）原料气化进料完成自静一段时间后，采用两台热水泵从热水罐输送80℃以上热水到气化器外壁进行加热，使气化器内的液氨缓慢稳定的气化后，通过管道输送至下一工序。（3）除油加热气化后的氨气通过活性炭除油过滤器去除油分，活性炭使用一段时间(约3年0.8t)后需进行更换，产生废活性炭S1-1。（4）纯化经除油的氨气通过纯化装置吸附去除杂质，其内部填充对水分有强烈吸附作用的分子筛填料，通过纯化装置吸附吸收水分后氨气由管道输送至脱重塔。该装置含两套分子筛吸附系统，一用一备。待一套分子筛吸附系统达到饱和时，切断该套系统，启用另一套系统。停止工作的的分子经高温氮气吹扫再生，此工序产生再生废气G1-1，主要污染物为氨，再生废气经管道接入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收塔）处理。分子筛反复使用(3~5年)需进行更换，产生废分子筛S1-2。（5）过滤经纯化后的氨气进入滤芯过滤器，去除颗粒物类杂质(活性炭、分子筛表面脱落颗粒物)。过滤器采用聚四氟乙烯滤芯。对过滤器监测进出口压力，当压力差超过限值时，更换滤芯，产生废滤芯S1-3。（6）脱重气态氨进入脱重塔主要去除水分和灰尘。脱重塔顶部设有塔顶冷凝器(控制温度在50℃)，采用循环水冷却。塔底设有再沸器(控制温度在56℃)，采用80℃以上温度的热水加热。在脱重塔中同时多次进行部分汽化、部分冷凝，气液两相在塔内实现传热传质分离。在脱重塔内经过反复的气液交换，将氨气中的轻组份和重组份分离，脱重塔塔顶排出轻组份，脱重塔塔底水分聚集、排出重组份，达到除去杂质的目的。塔顶富集的低沸点组分（轻组分）经管道连续排出进入脱重塔两级冷凝器，采用循环水冷却，低沸点组分被冷凝作为脱重塔的回流液；塔内釜底高纯度液氨经过再沸器加热成气体后从塔中下部氨气出口为富氨气进入脱轻塔：塔内釜底未汽化的重组份液体W1-1经管道进入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收塔）处理。（7）脱轻富氨气进入脱轻塔去除氮气、氢气、氧气等轻组分杂质。脱轻塔与脱重塔设计类似，脱重塔顶部设有塔顶冷凝器(控制温度在47℃)，采用循环水冷却。塔底设有再沸器(控制温度在50℃)，采用80℃以上温度的热水加热。在脱轻塔内经过反复的气液交换，将富氨气中的轻组份分离，塔底获得脱除杂质的超纯氨产品。脱轻塔顶富集的低沸点组分（轻组分）经管道连续排出进入脱轻塔冷凝器，采用循环水冷却。产生的不凝气G1-2进入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。（8）成品冷凝从脱轻塔塔底获得的超纯氨进入液氨中间罐，之后进入产品冷却器，进行气态氨液化气液分离，冷却器温度控制在5℃。经冷凝后含不纯物的气态氨管道送入工业氨储罐，液态超纯氨成品储存在超纯氨储罐中，等待充装。（9）超纯氨充装和ISO罐箱、钢瓶充装前处理 ISO罐箱、钢瓶充装前处理：从用户处返回的ISO罐箱、钢瓶内有部分残留物，通过对ISO罐箱、钢瓶进行加热(电加热，ISO箱加热温度为40℃，钢瓶加热温度为65℃)的方式升高ISO箱、钢瓶内压力，通过压力差将ISO罐箱、钢瓶内液态氨排入回收储罐，ISO罐箱、钢瓶内液态氨排完后。利用超纯氨(来自成品罐)吹扫方式将ISO箱、钢瓶内的气态氨(废气G1-3)排入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。 ISO罐箱车充装：成品罐-专用液氨泵-ISO罐箱。钢瓶充装：成品罐-专用液氨泵-超纯氨超净排架-成品钢瓶。充装完成后，残留在管路中的氨(废气G1-3)由管道接入入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。（10）在线分析各成品超纯氨分析取样点(原料，脱重塔产品，液氨中间罐)的超纯氨由内径为3mm的管道接入超纯氨分析柜，分析超纯氨中水及氢组份的含量，超纯氨分析柜为密闭式自动分析柜，分析后的气体作为废气G1-4由管道引入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。 2.副产氨水制备装置工艺吸氨器产生的氨水进入V01氨水罐，V01氨水罐有氨水的温度和密度测量装置，根据测得的氨水温度密度，PLC计算出氨水的浓度。当温度补偿后的氨水密度达到设定值，系统判定氨水已经合格，自动开启开关阀，将V01氨水罐中的氨水转移到成品氨水罐。 V01氨水罐在转移过程，液位低于下液位后，系统将自动打开开关阀，二级吸收塔内V02氨水罐里面的稀氨水会转移到V01氨水罐。若V02氨水罐液位低于下液位，系统将自动打开开关阀，三级吸收塔内V03氨水罐里面的稀氨水会转移到V02氨水罐。若V03水罐液位低于下液位，系统将自动打开开关阀，补充软化水至V03水罐，等待V03罐液位高于上液位，停止转移，自动关闭开关阀。氨水制备装置的工艺为三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收塔处理，氨气经水吸收成浓度为25%的饱和氨水，进入氨水储罐。废气经过超级吸氨器+填料塔处理后氨的去除率为99.9%，后续再采用稀硫酸中和吸收可进一步减少氨气排放量。稀硫酸中和吸收氨的化学反应式为：H2SO4+2NH3H2O=(NH4)2SO4+2H2O，硫酸吸收氨气的转化率无限接近100%，吸收后硫酸铵以溶液型式存在，当硫酸铵溶液达到约30%时转移到吨桶中转运至福**公司年产140万吨硫铵装置。（产品中硫酸铵含量约30%，硫酸含量约10%，其它为水）。氨水装车：氨水罐—专用氨水泵—槽车。装车完成后，残留在管路中的氨(废气G1-5)由鹤管收集，管道引入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。 3.超纯氢气生产工艺流程氢气使用的是变温吸附工艺，吸附过程主要包括进料、吸附和再生等阶段。具体步骤：（1）从一期项目管道输送的3N氢气进入低温纯化器，首先经过热交换器，在这里通过与低温吸附器提纯后的氢气进行热量交换，将提纯后的氢气回热至常温，将进入到低温吸附器的氢气冷却到接近液氮的温度。（2）然后进入到低温吸附器，采用液氮作为冷媒，低温吸附器中的氢气吸附剂在接近液氮的温度下工作，可以将除了氢气、氦气以外的所有杂质吸附下来，从而将氢气深度纯化。当吸附剂饱和后，需要在一定的温度下解析再生，使其恢复纯化能力，两组低温吸附器一台吸附，一台解析再生，交替工作，实现对氢气的连续纯化，吸附剂氢气活化废气G2-1由排气管排放。液氮经过热交换器变成气态，氮气放空G2-2由排气管排放。（3）纯化后的氢气经膜压机加压，输送至配气车间的氢气集装格和管束车中，部分氢气输送至磷烷混配、砷烷混配车间做为原料使用，剩余部分氢气做为产品出售。 4.超纯氮气生产工艺流程氮气使用的是吸附工艺，吸附过程主要包括进料、吸附和再生等阶段。具体步骤：来自园区的液氮，经槽车卸车储存于配气车间室外的液氮储罐，液氮由储罐经低温泵抽取送至汽化器，气化成气态氮气后，经氮气纯化器纯化（纯化器提纯过程：采用物理吸附和化学吸附的方法，从汽化器出来的5N氮气，经过吸附剂，高效的将原料气中的氧气、一氧化碳、二氧化碳、水等杂质吸附于吸附剂中，吸附剂饱和后返回厂家活化后可再次使用）。纯化后的超纯氮气依靠压差充进配气车间的氮气集装格中储存，集装格中的氮气一部分做为产品出售，一部分输送至磷烷混配、砷烷混配车间、氟氮混配、激光气混配车间、超纯氨车间做为原料或辅料使用。 5.磷烷混配、砷烷混配产品生产工艺流程半导体元件的制造都会在一个密闭的洁净厂房内，制造过程中会使用一些高毒的特种气体，这些气体一旦泄漏，使对杂质极为敏感的精密昂贵的半导体设备暴露于有毒气体中造成损害，在线制造的半导体器件全部成为了废品，同时会对在密闭空间中的人造成巨大危害，对环境造成污染。因此，半导体厂对有毒特种气体的安全性、可靠性要求特别高。本项目磷烷、砷烷混配气充装过程中不涉及任何化学反应。具有一项防泄漏负压钢瓶专利技术，可以保持钢瓶内持续的负压状态，即使当操作工人不小心打开了钢瓶，瓶内的气体也可在负压状态下保证不会泄漏到外环境。电子特种气体普遍应用于半导体芯片、液晶面板材料制造等各个工艺流程中，清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、成膜、掺杂等环节。本项目生产的为磷烷、砷烷混配气(混氢、混氮、混氦、混氩)。本项目磷烷、砷烷混配气生产过程不涉及提纯过程，原料即为高纯的气体，主要过程即将不同组分气体按照不同的****公司的防泄漏负压钢瓶中。磷烷、砷烷废气处理设施采用干式吸附装置，与一期工程相同。混配气的充装流程步骤如下：（1）原料准备将混配时用到的原料接至混配系统，其中氢气、氮气需要进行纯化工序达到配制要求，来自于配气车间。其它单质均为外购纯度满足要求的原料气。（2）气瓶准备根据产能及客户要求购买符合使用要求的钢瓶（已研磨、安装好瓶阀、烘烤好、试漏好的气瓶）并进行充装前检查。对新钢瓶的水、氧含量进行分析（抽查）。（3）气瓶预制新钢瓶完成试漏后，将气瓶抽空，将气瓶内充入组分气原料（磷烷、砷烷），静置7天，用氮气多次稀释排放，该过程产生的新钢瓶钝化废气（G4-1）再用平衡气（包括氢气、氮气、氦气、氩气）将气瓶抽空置换干净。（4）组分充装量的计算根据客户要求的比例，压力，气瓶大小计算出各组分的理论充装量；（5）充装组分气充装系统配置有独立的抽空/排放管道，抽空/排放管道接入独立的干式工艺尾气处理系统，充装系统配有压力传感器，气动阀，PLC控制系统。在充装系统的外部再安装有负压柜，负压柜配有一套独立的应急处理与抽风装置，并在负压柜内配有磷烷、砷烷、氢气侦测器，烟感，消防喷淋，三色报警灯。正常混配充装时，磷烷砷烷等气体通过充装系统的管道由原料瓶充入产品瓶，管道内充装时残留的气体通过充装系统的抽空/排放管道进入吸收装置。生产过程中产生的砷烷、磷烷废气设置吸收装置，采用干式吸附法进行吸附处理，达标排放。异常工况时(充装系统或气瓶有泄漏)，从充装系统泄漏出来的有毒有害气体被侦测器侦测到，GDS系统开启应急处理装置将泄漏出来的有毒有害气体抽至应急处理干式吸附装置进行吸附处理。（6）定值根据实际充装的各组分重量，计算出组分浓度值。（7）混匀填充后的混合气钢瓶放入滚瓶机将瓶内气体混合均匀。（8）分析验证混匀好的钢瓶送入分析室进行分析。分析合格后，产品放入仓库进行储存并待发货。	1.超纯氨生产工艺流程（1）升温原料液氨从申远的1、2、4***园区管道直接输送到超纯氨装置进料缓冲罐。再利用两台原料氨泵输送至脱重塔冷凝器，原料液氨温度为-28℃，脱重塔冷凝器冷媒采用原料液氨，冷却脱重塔塔顶采出的低沸点组分，同时将原料液氨的温度升高到约40℃。原料液氨通过管道进入气化器。（2）原料气化进料完成自静一段时间后，采用两台热水泵从热水罐输送80℃以上热水到气化器外壁进行加热，使气化器内的液氨缓慢稳定的气化后，通过管道输送至下一工序。（3）除油加热气化后的氨气通过活性炭除油过滤器去除油分，活性炭使用一段时间(约3年0.8t)后需进行更换，产生废活性炭S1-1。（4）纯化经除油的氨气通过纯化装置吸附去除杂质，其内部填充对水分有强烈吸附作用的分子筛填料，通过纯化装置吸附吸收水分后氨气由管道输送至脱重塔。该装置含两套分子筛吸附系统，一用一备。待一套分子筛吸附系统达到饱和时，切断该套系统，启用另一套系统。停止工作的的分子经高温氮气吹扫再生，此工序产生再生废气G1-1，主要污染物为氨，再生废气经管道接入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收塔）处理。分子筛反复使用(3~5年)需进行更换，产生废分子筛S1-2。（5）过滤经纯化后的氨气进入滤芯过滤器，去除颗粒物类杂质(活性炭、分子筛表面脱落颗粒物)。过滤器采用聚四氟乙烯滤芯。对过滤器监测进出口压力，当压力差超过限值时，更换滤芯，产生废滤芯S1-3。（6）脱重气态氨进入脱重塔主要去除水分和灰尘。脱重塔顶部设有塔顶冷凝器(控制温度在50℃)，采用循环水冷却。塔底设有再沸器(控制温度在56℃)，采用80℃以上温度的热水加热。在脱重塔中同时多次进行部分汽化、部分冷凝，气液两相在塔内实现传热传质分离。在脱重塔内经过反复的气液交换，将氨气中的轻组份和重组份分离，脱重塔塔顶排出轻组份，脱重塔塔底水分聚集、排出重组份，达到除去杂质的目的。塔顶富集的低沸点组分（轻组分）经管道连续排出进入脱重塔两级冷凝器，采用循环水冷却，低沸点组分被冷凝作为脱重塔的回流液；塔内釜底高纯度液氨经过再沸器加热成气体后从塔中下部氨气出口为富氨气进入脱轻塔：塔内釜底未汽化的重组份液体W1-1经管道进入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收塔）处理。（7）脱轻富氨气进入脱轻塔去除氮气、氢气、氧气等轻组分杂质。脱轻塔与脱重塔设计类似，脱重塔顶部设有塔顶冷凝器(控制温度在47℃)，采用循环水冷却。塔底设有再沸器(控制温度在50℃)，采用80℃以上温度的热水加热。在脱轻塔内经过反复的气液交换，将富氨气中的轻组份分离，塔底获得脱除杂质的超纯氨产品。脱轻塔顶富集的低沸点组分（轻组分）经管道连续排出进入脱轻塔冷凝器，采用循环水冷却。产生的不凝气G1-2进入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。（8）成品冷凝从脱轻塔塔底获得的超纯氨进入液氨中间罐，之后进入产品冷却器，进行气态氨液化气液分离，冷却器温度控制在5℃。经冷凝后含不纯物的气态氨管道送入工业氨储罐，液态超纯氨成品储存在超纯氨储罐中，等待充装。（9）超纯氨充装和ISO罐箱、钢瓶充装前处理 ISO罐箱、钢瓶充装前处理：从用户处返回的ISO罐箱、钢瓶内有部分残留物，通过对ISO罐箱、钢瓶进行加热(电加热，ISO箱加热温度为40℃，钢瓶加热温度为65℃)的方式升高ISO箱、钢瓶内压力，通过压力差将ISO罐箱、钢瓶内液态氨排入回收储罐，ISO罐箱、钢瓶内液态氨排完后。利用超纯氨(来自成品罐)吹扫方式将ISO箱、钢瓶内的气态氨(废气G1-3)排入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。 ISO罐箱车充装：成品罐-专用液氨泵-ISO罐箱。钢瓶充装：成品罐-专用液氨泵-超纯氨超净排架-成品钢瓶。充装完成后，残留在管路中的氨(废气G1-3)由管道接入入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。（10）在线分析各成品超纯氨分析取样点(原料，脱重塔产品，液氨中间罐)的超纯氨由内径为3mm的管道接入超纯氨分析柜，分析超纯氨中水及氢组份的含量，超纯氨分析柜为密闭式自动分析柜，分析后的气体作为废气G1-4由管道引入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。 2.副产氨水制备装置工艺吸氨器产生的氨水进入V01氨水罐，V01氨水罐有氨水的温度和密度测量装置，根据测得的氨水温度密度，PLC计算出氨水的浓度。当温度补偿后的氨水密度达到设定值，系统判定氨水已经合格，自动开启开关阀，将V01氨水罐中的氨水转移到成品氨水罐。 V01氨水罐在转移过程，液位低于下液位后，系统将自动打开开关阀，二级吸收塔内V02氨水罐里面的稀氨水会转移到V01氨水罐。若V02氨水罐液位低于下液位，系统将自动打开开关阀，三级吸收塔内V03氨水罐里面的稀氨水会转移到V02氨水罐。若V03水罐液位低于下液位，系统将自动打开开关阀，补充软化水至V03水罐，等待V03罐液位高于上液位，停止转移，自动关闭开关阀。氨水制备装置的工艺为三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收塔处理，氨气经水吸收成浓度为25%的饱和氨水，进入氨水储罐。废气经过超级吸氨器+填料塔处理后氨的去除率为99.9%，后续再采用稀硫酸中和吸收可进一步减少氨气排放量。稀硫酸中和吸收氨的化学反应式为：H2SO4+2NH3H2O=(NH4)2SO4+2H2O，硫酸吸收氨气的转化率无限接近100%，吸收后硫酸铵以溶液型式存在，当硫酸铵溶液达到约30%时转移到吨桶中转运至福**公司年产140万吨硫铵装置。（产品中硫酸铵含量约30%，硫酸含量约10%，其它为水）。氨水装车：氨水罐—专用氨水泵—槽车。装车完成后，残留在管路中的氨(废气G1-5)由鹤管收集，管道引入氨水制备装置（三级循环水吸收塔+稀硫酸吸收）处理。 3.超纯氢气生产工艺流程氢气使用的是变温吸附工艺，吸附过程主要包括进料、吸附和再生等阶段。具体步骤：（1）从一期项目管道输送的3N氢气进入低温纯化器，首先经过热交换器，在这里通过与低温吸附器提纯后的氢气进行热量交换，将提纯后的氢气回热至常温，将进入到低温吸附器的氢气冷却到接近液氮的温度。（2）然后进入到低温吸附器，采用液氮作为冷媒，低温吸附器中的氢气吸附剂在接近液氮的温度下工作，可以将除了氢气、氦气以外的所有杂质吸附下来，从而将氢气深度纯化。当吸附剂饱和后，需要在一定的温度下解析再生，使其恢复纯化能力，两组低温吸附器一台吸附，一台解析再生，交替工作，实现对氢气的连续纯化，吸附剂氢气活化废气G2-1由排气管排放。液氮经过热交换器变成气态，氮气放空G2-2由排气管排放。（3）纯化后的氢气经膜压机加压，输送至配气车间的氢气集装格和管束车中，部分氢气输送至磷烷混配、砷烷混配车间做为原料使用，剩余部分氢气做为产品出售。 4.超纯氮气生产工艺流程氮气使用的是吸附工艺，吸附过程主要包括进料、吸附和再生等阶段。具体步骤：来自园区的液氮，经槽车卸车储存于配气车间室外的液氮储罐，液氮由储罐经低温泵抽取送至汽化器，气化成气态氮气后，经氮气纯化器纯化（纯化器提纯过程：采用物理吸附和化学吸附的方法，从汽化器出来的5N氮气，经过吸附剂，高效的将原料气中的氧气、一氧化碳、二氧化碳、水等杂质吸附于吸附剂中，吸附剂饱和后返回厂家活化后可再次使用）。纯化后的超纯氮气依靠压差充进配气车间的氮气集装格中储存，集装格中的氮气一部分做为产品出售，一部分输送至磷烷混配、砷烷混配车间、氟氮混配、激光气混配车间、超纯氨车间做为原料或辅料使用。 5.磷烷混配、砷烷混配产品生产工艺流程半导体元件的制造都会在一个密闭的洁净厂房内，制造过程中会使用一些高毒的特种气体，这些气体一旦泄漏，使对杂质极为敏感的精密昂贵的半导体设备暴露于有毒气体中造成损害，在线制造的半导体器件全部成为了废品，同时会对在密闭空间中的人造成巨大危害，对环境造成污染。因此，半导体厂对有毒特种气体的安全性、可靠性要求特别高。本项目磷烷、砷烷混配气充装过程中不涉及任何化学反应。具有一项防泄漏负压钢瓶专利技术，可以保持钢瓶内持续的负压状态，即使当操作工人不小心打开了钢瓶，瓶内的气体也可在负压状态下保证不会泄漏到外环境。电子特种气体普遍应用于半导体芯片、液晶面板材料制造等各个工艺流程中，清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、成膜、掺杂等环节。本项目生产的为磷烷、砷烷混配气(混氢、混氮、混氦、混氩)。本项目磷烷、砷烷混配气生产过程不涉及提纯过程，原料即为高纯的气体，主要过程即将不同组分气体按照不同的****公司的防泄漏负压钢瓶中。磷烷、砷烷废气处理设施采用干式吸附装置，与一期工程相同。混配气的充装流程步骤如下：（1）原料准备将混配时用到的原料接至混配系统，其中氢气、氮气需要进行纯化工序达到配制要求，来自于配气车间。其它单质均为外购纯度满足要求的原料气。（2）气瓶准备根据产能及客户要求购买符合使用要求的钢瓶（已研磨、安装好瓶阀、烘烤好、试漏好的气瓶）并进行充装前检查。对新钢瓶的水、氧含量进行分析（抽查）。（3）气瓶预制新钢瓶完成试漏后，将气瓶抽空，将气瓶内充入组分气原料（磷烷、砷烷），静置7天，用氮气多次稀释排放，该过程产生的新钢瓶钝化废气（G4-1）再用平衡气（包括氢气、氮气、氦气、氩气）将气瓶抽空置换干净。（4）组分充装量的计算根据客户要求的比例，压力，气瓶大小计算出各组分的理论充装量；（5）充装组分气充装系统配置有独立的抽空/排放管道，抽空/排放管道接入独立的干式工艺尾气处理系统，充装系统配有压力传感器，气动阀，PLC控制系统。在充装系统的外部再安装有负压柜，负压柜配有一套独立的应急处理与抽风装置，并在负压柜内配有磷烷、砷烷、氢气侦测器，烟感，消防喷淋，三色报警灯。正常混配充装时，磷烷砷烷等气体通过充装系统的管道由原料瓶充入产品瓶，管道内充装时残留的气体通过充装系统的抽空/排放管道进入吸收装置。生产过程中产生的砷烷、磷烷废气设置吸收装置，采用干式吸附法进行吸附处理，达标排放。异常工况时(充装系统或气瓶有泄漏)，从充装系统泄漏出来的有毒有害气体被侦测器侦测到，GDS系统开启应急处理装置将泄漏出来的有毒有害气体抽至应急处理干式吸附装置进行吸附处理。（6）定值根据实际充装的各组分重量，计算出组分浓度值。（7）混匀填充后的混合气钢瓶放入滚瓶机将瓶内气体混合均匀。（8）分析验证混匀好的钢瓶送入分析室进行分析。分析合格后，产品放入仓库进行储存并待发货。
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

应做好现有工程环境管理工作，按“以新带老” 要求，完成现有危险废物暂存库的废气收集和净化措施的建设。大气污染防治。超纯氨及氨水生产过程产生的含氨废气经三级循环水洗塔+稀硫酸吸收塔工艺处理后，由排气筒引至不低于34m高空排放。磷烷、砷烷混配过程及吹扫过程产生的含磷烷、砷烷废气经两级干式吸附装置工艺处理后，由排气筒引至不低于25 米高空排放。各生产车间产品物料应全部采用储罐储存、密闭管道输送，强化生产、输送、物料装卸等容易发生废气泄漏环节以及各类储罐的密闭性，最大程度减少废气无组织排放。水污染防治。按照“雨污分流、清污分流、分质处理原则，建设完善的污水及雨水收集、处理系统。项目污水管网铺设应落实明管化要求，不得以埋地形式设计。项目依托厂区已建1座800立方米初期雨水池收集初期雨水，地坪冲洗废水和初期雨水**处理站(处理能力420吨/天)经“中和+混凝沉淀+脱泥”工艺预处理后，接入福公司处理站，最经济开发区污水处理厂集中处理。项目生活污水经厂内化粪池处理后，经济开发区污水处理厂处理。土壤和地下水污染防治。按照相关技术规范以及《报告书》确定的重点防渗区、一般防渗区、简单防渗区的要求分区采取防渗措施，并加强防渗设施的日常维护，防止土壤及地下水污染。项目生产装置区、储罐区、充装站、仓库应做到明管明沟，可视化管理。噪声污染防治。选用先进的低噪声机械、设备及装置对泵组、反应器、压缩机等主要噪声设备进行消声、隔声、减振处理，确保厂界噪声达标。固体废物污染防治。按照“减量化、无害化、化原则，对固体废物实施分类收集、贮存、处理和处置。项目危险废物和一般工业固体废物依托厂区一、二期已建的分类暂存场所进行暂存，要求规范建立固体废物管理合帐，加强全过程规范化管理。环境风险防范。项目储罐区应设置围堰，事故废水依托厂区已建1座有效容积约为 3000立方米事故应急池收集，厂**园区公共事故应急池互联互通，落实水环境风险三级防控措施，确保事故污水不外排。	本次为阶段性验收，验收范围为超纯氨装置、超纯氨罐区、冲装站、配气车间和磷烷混配、砷烷混配车间及配套的污染防治设施，相关批复要求已基本落实。危险废物暂存库设置活性炭吸附装置及15m高排气筒。含氨废气经三级循环水洗塔+稀硫酸吸收塔工艺处理后，由34m高排气筒排放。磷烷、砷烷混配过程及吹扫过程产生的含磷烷、砷烷废气经两级干式吸附装置工艺处理后，25米高排气筒排放。对超纯氨生产装置车间等进行了一般污染防治区建设；园区在下游2个地下水日常监测井，园区范围地下水日常监测。依托现有工程一般固废与危废暂存库分类暂存，建设单位已与绿洲**公司签订危废处置协议。已修订应急预案，并于2025年7**生态环境局备案（备案号350122-2025-013-H）。
无

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

0	0	0	0	0	0	0
0	0	5825.5	0	0	0	0
0	0	565.3	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0	0
0	0	856.5	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0	0	/
0	0	753.3	0	0	0	0	/
0	0	1252.2	0	0	0	0	/
0	0	344.5	0	0	0	0	/
0	0	664.23	0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	氨水制备装置三级水吸收塔+稀硫酸吸收塔	含氨废气排放浓度参照执行《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）表4大气污染物特别排放限值标准，含氨废气排放速率执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)表2限值要求。	已建成	验收监测期间，氨的排放浓度满足《无机化学工业污染物排放标准》（GB31573-2015）表4标准要求（10mg/m3），氨的排放速率满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2标准要求（20kg/h）。
2	磷烷、砷烷混配车间两级干式吸附装置	无	已建成	无监测

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程