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机械泵模块
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原材料
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附加技术条件:1、工作真空度要求,优于6X10-3Pa。 2、真空漏率,≤1E-9Pa﹒m3/s。(针对整个设备的密封性)。 3、机械泵,真空泵的抽气速率应大于8L/s(真空泵需要是完全无油涡旋式真空泵)。 4、机械泵外形尺寸,不大于600mm*400mm*400mm。 5、机械泵冷却方式,风冷。 6、机械泵使用温度,0-40℃。 7、机械泵进/出口法兰,KF40/KF25。 8、机械泵输入电压,220V。
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一次性交货
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分子泵模块
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原材料
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附加技术条件:1、进气口法兰,DN100 LF。 2、排气口法兰,DN25。 3、抽气速率,300L/S。 4、使用温度,0-40℃。 5、冷却方式,风冷。 6、分子泵控制器具备网口和232两种接口,若不能同时具备,应具备网口功能。 7、极限压强,6*10-6pa。
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一次性交货
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分子泵模块
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原材料
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附加技术条件:1、进气口法兰,DN160 LF。 2、排气口法兰,DN40。 3、抽气速率,600-700L/S。 4、使用温度,0-40℃。 5、冷却方式,风冷。 6、分子泵控制器具备网口和232两种接口,若不能同时具备,应具备网口功能。 7、极限压强,6*10-6pa。
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个
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一次性交货
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